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光学测量 > 干涉测量 Xw!eB?A !!E_WDZ#9 任务/系统说明 + ^{;o0kcx w:I^iI.
yL^1s\<ddW yHLclv 亮点 l"p%]\tZ O66\s q
Zk$AAjC& +?zyFb]Km •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; Jxi>1 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; i >Hh_q;' -q[T0^eS 具体要求:光源 L;I.6<K. )p4o4aM ^ ]SS\=7 V=I au_ 具体要求:用于准直的消色差透镜 9-eYCg7C| zNuiBLxDs )5_GJm&R9 Na=9ju MI0'ou8l k$y(H;XA #s{>v$F 8kXbyKX[b 具体要求:分束器 1*S It5?4 St-:+=V_ PvBx<i}A E^zgYkZO 具体要求:参考光路反射镜 4%LG9hS \O/" F; 9*GwW&M%1_ s+(%N8B
HAEgR #`RYKQwB 具体要求:测试光路反射镜 8jd<|nYnfc U2 <*BRJ ^+oi|y yZ~<!
5.P 具体要求:探测器 ^_9 ^iL eW"i'\`0 U8]L3&~ w(8q qU+\ 结果:3D光线追迹 `I ,A7b [6K2V:6: fO[X<|9 3H%R`ha 结果:场追迹 pRx^O
F(3 Vo+d3
~"\sL;B + L;[-]E8 结果:移动样品的场追迹结果 _s><>LH~ V9-pY/v9 tPP nW 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 NLyvi,svS
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