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光学测量 > 干涉测量 ) %Xp?H_ |oeg'T 任务/系统说明 |(x%J[n0+ 7h/Mkim$5
-GL.8"c[ g NE"z 亮点 1 h(n}u pPs TgGai
xPF.c,6b4= Xl$r720ZJr •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; *@lVesC2 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; lnl>!z F'<XB~&o 具体要求:光源 P<1&kUZL l-IA Q!d w'i+WEU>l 'yOx&~H] 具体要求:用于准直的消色差透镜 I7XM2xM KxmB$x5-=8 3 P\4K )q!dMZ( !x-9A P5XUzLV
L vEt=enQ `aMnTF5: 具体要求:分束器 yYJ +vs R,!aX"]| ?)qm=mebY &xj,.; 具体要求:参考光路反射镜 L!5="s[} g$=']A?W_ 4tiCxf) *bcemH8f
7'.6/U yF
XPY=EQ 具体要求:测试光路反射镜 ]C_$zbmi $f"Ce,f BW`Tw^j OJ\j6owA 具体要求:探测器 ->'q /ubGa6N (:#4{C !q+
%]k?x 结果:3D光线追迹 &~)1mnv. L@ N\8mf _A$V~Hp9q
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#Yk 结果:场追迹 }N3Ur~X\ DQ6pe)E|
}WNgKw /h!iLun7I 结果:移动样品的场追迹结果 "Bn]-o|r 6:bvq?5a5 !E/%Hv1 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 iaaD1<m
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