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光学测量 > 干涉测量 A2z%zMlZc eR(PY{ 任务/系统说明 o y! W$ ?6
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im^G{ 3z 亮点 tr2@{xb
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>2 gemTy •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； M:OY8=V •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； [{_JO+)+n
QQKvy0?1 具体要求：光源 ZD1UMB0$4 {A4"K X(U  \GeUX <Fl dL>0"UN}- 具体要求：用于准直的消色差透镜 tFvt i5 w%cd $"EH x~ xaE*r 
SX|b0S, _;J7#j~} 2RKI M(~  `gy]|gS#b MJ >9[h s 具体要求：分束器 -san%H' z2og&|uT  pi? q<p%
6a PZW 具体要求：参考光路反射镜 wH[@#UP3l <tAn2e!  e cA[
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E/:<9xl 具体要求：测试光路反射镜 #KZ- "$ Zb`}/%\7  vk+TWf
Gi B3.%R` 具体要求：探测器 N(Us 9 ?<,9X06dP 
N\DEY] UaCEh?D+Y 结果：3D光线追迹 'OSZ'F3PV $k*E^~qT  InMeD[*^ 2(LS <HqP[ 结果：场追迹 :{%6< j >+R`3 |o
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u`+ 结果：移动样品的场追迹结果 T30!'F(*, _S/bwPj|~y  M[D`)7=b 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 uXW<8(
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