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光学测量 > 干涉测量 ;
tvB{s_ c#"\&~. P 任务/系统说明 ~8 pf.^,fi
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tsfOPth$* 亮点 a2=wJhk
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fwsq: •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； U" m!f*a •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； jcq(=7j
`t!iknOQ$ 具体要求：光源 f!LZT! y wmo'Pl  a
_ j{U-=[$' 具体要求：用于准直的消色差透镜 @/$mZ] |T _"0n.JQg MqoQs{x  <*(~x esPS >D:S) " -'}iK6  iU%Gvf^?'5 m]"YR_ 具体要求：分束器 uhc0,V;S 3l L:vD5(  ]LSa(7>EU
E0O{5YF^T 具体要求：参考光路反射镜 =JVRm
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[qZ4+xF,, 具体要求：测试光路反射镜 ~!&[;EM<bm M9&tys[ KX  K FfwZkj{
*e>:K$r 具体要求：探测器 vq5I 2 so 8-e  /Hx0=I hYWWvJ)S 结果：3D光线追迹 =u'/\nxCF O,OGq0c  c''O+,L1+ S~TJF}[k^6 结果：场追迹 ~o2{Wn[" Aj`4uFhiL
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-{7N]q)} 结果：移动样品的场追迹结果 >{??/fBd- < Ihn1?  =f|>7m.p 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 F "F(s!
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