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光学测量 > 干涉测量 +80b G(I_ |' z24 :8 任务/系统说明 6<T:B[a-
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,SidY\FzH 亮点 ;i\N!T{>
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n}_}# (a •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； # 4./>}G •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 3UaW+@
9!(%Vf> 具体要求：光源 S 3l^h4 Km
$o@  &a=7 8Z 8lzoiA_9 具体要求：用于准直的消色差透镜 ;N?(R\* 8 &l3(+4Sh fLqjBG]<  T - _)) _dRB=bl"O 1O< 6=oH  #Tei0B 7 *asv^aFpS 具体要求：分束器 mvK ^') 0FtwDM))  c8YbBdk'
'~Cn+xf 4] 具体要求：参考光路反射镜 p]EugLEmG nq HpYb6I0  YI
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)ds]fvMW]N 具体要求：测试光路反射镜 z? .9)T9_ '( FC
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i (T2c 具体要求：探测器 ~ HhB@G!3 tiE|%jOzt  +^+'. xQ :>JfBJ]| 结果：3D光线追迹 wpuK?fP OcO/wA(&{  4pf@.ra, e}1Q+h\ 结果：场追迹 _wK.n.,S~ u+r!;- 0i
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/nQuM 05*Z 结果：移动样品的场追迹结果 %]&$VVVh Lo1ySLo$G  PXYLL X\ 3 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 tRJ5IX ##L
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