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光学测量 > 干涉测量 F5S@I; 8QMPY[{ 任务/系统说明 I-OJVZ( V
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XrZ*1V 亮点 H#ClIh?'b
kQ ]$ %Lk[
 n_' {^6*O
JU&+c6> •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； RejQ5 'Neh •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； K _&4D'
rj!0GI 具体要求：光源 eF2|Wjl``; Y`?-VaY  ^j7 azn )=Jk@yj8x 具体要求：用于准直的消色差透镜 B7imV@< Ewg:HX7<( ->N8#XH2=  s JNFFOz !>:?rSg* ~K@'+ 5Pc  $8BPlqBIZ *?M GMhE 具体要求：分束器 ~g.$|^,.O/ |fo0  itMg|%B%
K #. 具体要求：参考光路反射镜 S{3nM< OrK&RC  n'emN Ra
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=JmT:enV 具体要求：测试光路反射镜 f7}*X|_Y D+>1]ij  ZK)%l~ J
c% qv9 具体要求：探测器 aM ;W$1h A<y nIs<  b".L_Ma1* LW(6$hpPp 结果：3D光线追迹 b5^OQH{v ?R$&Xe!5  fDP$ sW e dPUG
N 结果：场追迹 yxc=Z0~1 3)RsLI9
 fj&i63 ?e
h;0S%ZC 结果：移动样品的场追迹结果 N
8-oY$* SV(]9^ nW  twx[ s$O'b 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 0P]E 6hWgg
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