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光学测量 > 干涉测量 HJ"GnZp< u 9e@a9c 任务/系统说明 )nkY_' BV
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q V =!ORuj 亮点 04ui`- c(
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zhQJy?>'m •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； c 9Mz]1@f •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； A.SvA Y n
?<!| 具体要求：光源 y29m /i : Q &8-\  e~OpofJNb Jy)/%p~ 具体要求：用于准直的消色差透镜 G c?a +T 9up3[ F$ ("KF'fp&M2  4#D,?eA 7 - ). C Wtnfa{gP%  \bXa&Lq &oNAv-m^GD 具体要求：分束器 :OT& ZJoM?g~WFI  z{q`G wW
~N4m1s" 具体要求：参考光路反射镜 l1I#QB@5n "+c-pO`Wg  X w1*(ffk
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" bG2: 具体要求：测试光路反射镜 vN $s|R'@ T{ "(\X$  +@ UV?"d
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Sy 具体要求：探测器 (7Q o :RYTL'hes  +T ?NH9 [g,}gyeS( 结果：3D光线追迹 \8tsDG(1 ' 4- w{BZuS  2wn2.\v M ]:;&1h3'7 结果：场追迹 buC{ r,
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d9ihhqq3} 结果：移动样品的场追迹结果 nN;u,}e }JfjX '  V&i;\ 9 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Ac6=(B
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