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光学测量 > 干涉测量 lXx=But ]RZ|u*l= x 任务/系统说明 g1;:KzVv
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X@ --m6- 亮点 t*=CZE -
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%p Ynnfr •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； B+$%*%b •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 3# W T.4k
DMAIM|h 具体要求：光源 Bm:98? [ X1:V<,}"  0X Op3 C0sX gM 具体要求：用于准直的消色差透镜 jkQ *D(;p u^^vB\"^ p99 ]  pD8+ 4;A 9d>- MX' *Hg>[@dP0  l? \jB\, PoHg,n] 具体要求：分束器 `oAW7q)~ 9G9t" {  \/93Dz
):P? 具体要求：参考光路反射镜 , xw#NG6 kT| dUw9G  #"} JdBn
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@hl.lq 具体要求：测试光路反射镜 4%{,]
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oF vfCrd 具体要求：探测器 hl;u' _AB @Rg/~\ K  $&Gu) 4'+ t Cw<Ip 结果：3D光线追迹 O8f ?; ] dR
K ?~1  [ m- >5H r^2p*nr} 结果：场追迹 bs+f,j-oBN XUrXnz|>
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!'Ak&j1:` 结果：移动样品的场追迹结果 c& < Fr[AK =WyDp97@+  |O3q@ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 LhN|1f:9:
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