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光学测量 > 干涉测量 |RH^|2:x9Q pS "A{k)i 任务/系统说明 bg2r
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T"e"?JSRJ 亮点 p^C$(}Yh
yu jv^2/
 MKh}2B#S
b y$S#e f •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； E J&w6),d •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； F8J\#PW
xB_7 8X1 具体要求：光源 VVe^s| ~Z g*W Y kv  ] u\-_PP -+0!Fkt@, 具体要求：用于准直的消色差透镜 CN6b 982& &r!jjT ?s] ?2>p  m' eM&1Ba q4niA {
3Qlx/6<  2E.D0E Cu +vYV x<uTQ 具体要求：分束器 7Q|v5@;pU 'DUY f5nF  ;It1i`!R
'/fueku 具体要求：参考光路反射镜 IIAm"=* in> ?kbaG+  yG<Q t+D
)gG_K$08?
 H284
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v"sN
K 具体要求：测试光路反射镜 ~V/?/ J$ # "TL *p  `L"l{^ cH
(wp?tMN5# 具体要求：探测器 3JZ9 G79H Zzv, p  F D.L{ "9,+m$nj 结果：3D光线追迹 S^)xioKsJ #Q d"d3QG  \7q>4[ b|U3\Fmc 结果：场追迹 \P9HAz'6 `7_s@4:
 eSSv8 [u
A"B[F# 结果：移动样品的场追迹结果 ^oZD44$ ^ % x7:  ~ym-Szo 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 "0 {t~?ol
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