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光学测量 > 干涉测量 r1[0#5kJ;J -Oo$\=d 任务/系统说明 ]t,ppFC# g><sZqj8tt
h7*m+/ O ]!f=b\-Av 亮点 |HL1.;1 )qKfTtN`
}NUP[% 3A+d8fwi •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; m1(rAr1 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; ;xb:{? LOQEU?z 具体要求:光源 +>s[w{Svy >FY`xl\m}< 1|zo-'y $,R|$0B7 具体要求:用于准直的消色差透镜 kY*D s; Y+D#Dv | O*30|[ P'g$F<~V IQR?n}ce Jo2:0<VL nzU@}/A/ M*t{?o/t; 具体要求:分束器 :#+VH_%N GU_R6Wt+ A$
s4Q0Mf h'wI/Z_' 具体要求:参考光路反射镜 lwa Yw./V0Z{@ O7E0{8 *c xYB
A9[l5E c$>Tfa'H 具体要求:测试光路反射镜 /S]<MS <zrGPwk wVp G!wFG-Y} 具体要求:探测器 6VIi
nuOW 40mgB4I @'dtlY5; 6tj+ 结果:3D光线追迹 ,\ov$biL *_@8 v? ]x?`&f8i NKh 8'=S 结果:场追迹 yy G:Kl 3s"x{mtH
:H3qa2p { "=d7i 结果:移动样品的场追迹结果 ?9.SwIxU& Bh<)e5lP: <w<&,xM 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 <$/'iRtRzW
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