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光学测量 > 干涉测量 n>'Kp T9| f#Xyoa% 任务/系统说明 6eokCc"o VAXT{s&4>
,$eK-w 0T>H)c6:\ 亮点 |{@FMxn|q q5L51KP2
=v*.p=r ci+tdMA •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; vO;I(^Q •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; JBnKK f}D1|\7 具体要求:光源 \qUKP"dr DvM5 k gqWupL
jM:Y'l] 具体要求:用于准直的消色差透镜 *kIc9} RQFI'@Ks 1xc~`~ t5[[JD1V ujJI
1I RyRpl*^ G7=pBf +t2SzQ j> 具体要求:分束器 SwU\
q]^|Z |X`/ <40rYr$/J TT9z_Q5~ 具体要求:参考光路反射镜 n$[f94d= :{q"G# 76vy5R(. F,5r9^,_
xm6 EKp: ``A 0WN 具体要求:测试光路反射镜 45&8weXO:' ,/O[=9l36R .`CZUKG +ki{H}G21 具体要求:探测器 =H<0o?8?c Z@gnsPN^r m4:^}O-# P_u|-~|\ 结果:3D光线追迹 mQ}ny (K' )+H[kiN }qjCTEs} >]=j'+] 结果:场追迹 VYw%01# !,Zp? g)
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h[\) 结果:移动样品的场追迹结果 vKoP|z=m E|:!Q8"%w ~L7:2weV[ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 dd|W@Xp -
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