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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 L+Q.y~  
    b$N&sZ  
    任务说明 li&&[=6A  
    '\R/-.  
    N _|tw  
    5^Ps(8VbS  
    灵活地导出制造数据： sJ7ZE-v]h  
    - 平滑的界面 5^C.}/#>F  
    - 量化界面 S\ ) ~9?  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 }\]J?I+A  
     p~17cH4~-f  
    亮点 '<Jqp7$dL  
     导出各种表面形状的制造数据 7 |Q;E|=-Y  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 i7foZ\btFc  
         M5c~-}Ay  
    s]2_d|Y  
    一般界面的制造数据 17+2`@vJgM  
    15CKcM6  
    x"{WLZ   
    'L8B"5|>  
    支持文件格式： QN^AihsPi  
    - 纯文本 oE&#Tl?Vt  
    - ASCII码 +K7oyZg  
    - 点云 0 ![  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~JG\b?s  
     5'S~PQka*  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ev9ltl{  
    xH>2$  ;f  
    采样高度剖面的STL导出 E[2xo/H  
    -gVsOX0  
    ]OLe&VRix  
    _ cm^Fi5  
    量化界面的GDSII导出 !uSG 1j" y  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ?k+>~k{}a  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 L<Q>:U.@\  
    48RSuH  
     
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