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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 OM9 6`  
    K 6pw8  
    任务说明 l+ T, 2sd  
     Iao[Pyk  
    DBbc|I/[l  
    T$b\Q  
    灵活地导出制造数据： ;;LuU<,$  
    - 平滑的界面 JmWR{du  
    - 量化界面 d><fu]'  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 boQ)fV"  
     fwmLJ5o N  
    亮点 b>q6:=((  
     导出各种表面形状的制造数据 t*+! n.p  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 I}:L]H{E  
         z Bf;fi  
    ~Q!~eTw  
    一般界面的制造数据 e`DsP8-&v  
    ;?im(9h"v!  
    rycJyiw<-  
    _:,.yRez  
    支持文件格式： '\4fU%  
    - 纯文本 d)*(KhYie@  
    - ASCII码 GAJ~$AiwHH  
    - 点云 URw!7bTz  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） }|He?[TR  
     9H$g?';  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） A c:\c7M;  
    u&3EPu  
    采样高度剖面的STL导出 lS{4dvr?w  
    j:?N!*r=  
    >)%#V<{<  
    X\G)81Q.S  
    量化界面的GDSII导出 wG:$6  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 B007x{-L  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 `V~LV<v5  
    R"Y?iZed3  
     
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