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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 &w_8E+Y Z  
    0Dd8c \J  
    任务说明 *R&77 o7  
    98}l`J=i  
     X56.Y.  
    ,[n=PJVw/  
    灵活地导出制造数据： P@etT8|V  
    - 平滑的界面 CS^|="Zs  
    - 量化界面 +C$wkx]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 CIR2sr0a  
     *@ \LS!N  
    亮点 ]:6IW:  
     导出各种表面形状的制造数据 ]{-ib:f~  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 o>M&C X+j$  
         <l)I% 1T_c  
    CfLPs)\ACm  
    一般界面的制造数据 *xKY>E+  
    E-rGOm" m  
    7*&q"   
    H|N,nkhH}  
    支持文件格式： X{5(i3?S  
    - 纯文本 BfvvJh_  
    - ASCII码 p-8x>dmP(  
    - 点云 &W y9%  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） k8sjW!2  
     p\|*ff0  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） $Jy1=/W&  
    PwxRu  
    采样高度剖面的STL导出 XuW>GT/  
    f,Dj@?3+  
    )6-!,D0db  
    Pu|3_3^  
    量化界面的GDSII导出 *p%=u>?&  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 #ruL+- 8!<  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 >BlF< d`X  
    I.}E#f/A'  
     
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