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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 3$+|nP:U  
    Er} xB~<t  
    任务说明 5}gcJjz  
    ]t_AXKd  
    |;{^Mci%  
    A"`6 2  
    灵活地导出制造数据： {>>ozB.  
    - 平滑的界面 gsuf d{{  
    - 量化界面 SF KW"cP  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 !$hrK6o  
     \>nPg5OT  
    亮点 0[}"b(O{  
     导出各种表面形状的制造数据 cF_`m  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 [0N==Ym1  
         !I5_ln  
    O?NAbxkp  
    一般界面的制造数据 LoUi Yf  
    esmQ\QQ^1  
    Y ~RPspHW  
    ;hNn F&l  
    支持文件格式： 69(z[opW  
    - 纯文本 'wz*GMGWC  
    - ASCII码 lY!`<_Am  
    - 点云 6d"dJV.\  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） nab:y(]$/  
     tUv@4<~,/  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） qJB9z0a<Ov  
    <9eQ  
    采样高度剖面的STL导出 a?E]-Zf  
    Lhu2;F\/  
    ORlz1 &hW  
    3toY#!1Ch  
    量化界面的GDSII导出 g;w4:k)U  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 |//cA2@.  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 My'M ~#kO,  
    XLp tJ4~v  
     
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