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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 ,bxGd!&{Q  
    _ea|E  8  
    任务说明 xrZzfg  
    {UFs1  
    =o )B1(v@.  
    cGSG}m@B`  
    灵活地导出制造数据： $qR<_6j  
    - 平滑的界面 kz"QS.${  
    - 量化界面 to{7B7t>q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |})v, o B  
     NI:3hfs  
    亮点 35H.ZXQp-  
     导出各种表面形状的制造数据 G+1i~&uV  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 K]'t>:G @  
         zEKVyZd*{  
    |\U5m6q  
    一般界面的制造数据 !{?<(6;t  
    #Y0ru9  
    Sc?q}tt^C  
    &u4;A[- R  
    支持文件格式： 0iV~MQZ(  
    - 纯文本 %,+&Kl I  
    - ASCII码 U;=1v:~d  
    - 点云 _7;D0l  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Eq=j+ch7  
     Ie[DTy  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） z+K1[1SM  
    !A:d9 k  
    采样高度剖面的STL导出 _/J`v`}G  
    Ltk-1zhI  
    d/[kky}  
    +xuj]J  
    量化界面的GDSII导出 qi['~((  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 C{>dE:*K^  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 G+t=+T2m  
    + } y"S-  
     
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