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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 1"{3v@yi  
    ^,[V;3  
    任务说明 2ijw g~_@  
    Q|Uq.UjY  
    Ym6zNb8 bQ  
    ]Ija,C!#  
    灵活地导出制造数据： )>08{7  
    - 平滑的界面 i)=!U>B_0  
    - 量化界面 #"% ]1={b  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `~Nd4EA)2  
     !Ziq^o.  
    亮点 ,p6X3zY  
     导出各种表面形状的制造数据 9NvV{WI-1  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 (5Q,d [B  
         ~$ } `R=  
    d54(6N%  
    一般界面的制造数据 ;(M`Wy]2  
    v`8dRVN  
    i~ D,  
    u1 d{|fF  
    支持文件格式： Y0iL+=[k`m  
    - 纯文本 AA34JVm]  
    - ASCII码 aW$( lf2;  
    - 点云 qYLOq `<f  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 7Wub@Mp  
     2)(P;[m^o  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） tj@IrwC^e"  
    ;i|V++$_  
    采样高度剖面的STL导出 !Tuc#yFw  
    @4dB$QF`&  
    @A6 P[r  
    j2NnDz'  
    量化界面的GDSII导出 =BW>jD  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ;7CE{/Bq.p  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 513{oM:  
    5]n5nqz  
     
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