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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 n6nwda  
    /=\__$l)  
    任务说明 ^dP@QMly6  
    3Pp*ID  
    $hO8 S=  
    GKPqBi[rO  
    灵活地导出制造数据： l(zkMR$b8  
    - 平滑的界面 ^dYLB.'=  
    - 量化界面  \'"q6y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ap9eQsC  
     N2tvP+Z6D  
    亮点 );;UNO21+  
     导出各种表面形状的制造数据 7w{`f)~  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vVLR9"rHM  
         s:cS 9A8  
    9&'Mb[C`"  
    一般界面的制造数据 Y@u{73H  
    2#1FI0,Pa*  
    Dl/UZ@8pl  
    V|HSIJ#J  
    支持文件格式： ^O\tN\g;c  
    - 纯文本 [;5HI'px  
    - ASCII码 EGGy0ly  
    - 点云 g)&-S3\  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） _z m<[0(  
     8N-~.p  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ,bmTB ZV  
    " Jnq~7]  
    采样高度剖面的STL导出 h/(9AO}t  
    e@^}y4 C  
    7X}_yMxc  
    x'JfRz  
    量化界面的GDSII导出 .FHOOw1r=  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2#W%--  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 9f,HjRP  
    F<-Pbtw  
     
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