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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 'u:J "  
    D+4$l+\u  
    任务说明 K'U=);W  
    'RIx}vPf  
    (ZD~Q_O-  
    hsZ@)[/:  
    灵活地导出制造数据： ded:yho   
    - 平滑的界面 xL!@$;J  
    - 量化界面 @F!oRm5  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 *#o2b-[V  
     zIc_'Z,b  
    亮点 ,+'VQa"]  
     导出各种表面形状的制造数据 7n'Ww=ttI  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ?#/~ BZR!  
         f2i9UZ$=e!  
    Vx=tP.BO]  
    一般界面的制造数据 6oq/\D$6~  
    ##yH*{/&  
    3 E!F8GZ  
    -b'/}zz  
    支持文件格式： >d^DN;p  
    - 纯文本 En YEAjX  
    - ASCII码 srd\Mf_Ej  
    - 点云  ^J& }C  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） $8NM[R.8^4  
     cIXqnb  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） )C0 y<:</  
    Ak,T{;rD  
    采样高度剖面的STL导出 &bCk`]j:  
    s'k} .}  
    X->` ~-aj  
    Wf-Pa9  
    量化界面的GDSII导出 O7zj8  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 IMHt#M`  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Jr,**,wA  
    k$ w#:Sx  
     
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