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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 zT$0xj8  
    Nfr:`$k  
    任务说明 Ud$Q0m&  
    ~D*b3K 8X  
    :*#rRQ>t  
    g8KY`MBnC&  
    灵活地导出制造数据： +yGY 785b  
    - 平滑的界面 kmIoJH5  
    - 量化界面 y7>iz6N  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 3Hs$]nQ_X  
     oBb?"2~9  
    亮点 /CH(!\bQ  
     导出各种表面形状的制造数据 pG(Fz0b{  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 it~Z|$  
         expxp#S  
    j]>=1Rd0b(  
    一般界面的制造数据 J`W-]3S#  
    e]>/H8  
    ,`y yR:F  
    9MT? .q  
    支持文件格式： f?Z|>3.2  
    - 纯文本 sA3UeTf  
    - ASCII码 yji>*XG  
    - 点云 `-o5&>'nf  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） <8f(eP\*F  
     >'N!dM.+9  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） s_xV-C#q@  
    y86))  
    采样高度剖面的STL导出 m*`cuSU|o  
    lw s(/a*c  
    ~> PgJ ^G  
    MO-!TZ+6  
    量化界面的GDSII导出 inZi3@h)T  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 aV<^IxE;  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 wra byRjK  
    fSjs?zd`  
     
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