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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 e0Gs|c+6  
    =i Dd{$  
    任务说明 BTG_c_ ?]e  
    TGPZUyi3!=  
    '<1Cta`  
    o>Dd1 j  
    灵活地导出制造数据： ryA+Lli.  
    - 平滑的界面 xpwy%uo  
    - 量化界面 e:.?T\  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 .ns=jp  
     SK 5]7C2  
    亮点 W5:fY>7  
     导出各种表面形状的制造数据 O2="'w'kR  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 87!m l  
         ZZCm438  
    )vVf- zU  
    一般界面的制造数据 +KNd%AJ  
    JV'aqnb.8\  
    fZ;}_wR-H  
    8$ #z>  
    支持文件格式： =#<bB)59  
    - 纯文本 gm!sLZ!X  
    - ASCII码 $MfRw  
    - 点云 `R.Pz _oe  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ('\sUZ+5  
     /<(-lbq,  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） bz~aj}"`  
    lB_X mI1t  
    采样高度剖面的STL导出 e-\/1N84  
    $% gz, {  
    9nFWJn  
    ozl!vf# kv  
    量化界面的GDSII导出 &%qDi_UD  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 X(3| (1;sV  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 5 ddfdIp  
    gwXmoM5  
     
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