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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 93|u. @lEy  
    M"OX NPkc  
    任务说明 V4GcW|P4y  
    2\ /(!n  
    zof>S>5>R7  
    R$@|t?  
    灵活地导出制造数据： 3S-nsMs.  
    - 平滑的界面 ~n#rATbxf  
    - 量化界面 u4L&8@  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #msXAy$N3r  
     bz[+g,e2oA  
    亮点 tI&Z!fj  
     导出各种表面形状的制造数据 8>Hnv]p  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 dZ&/Iz  
         [X.sCl|  
    N(v<*jn  
    一般界面的制造数据 BzL>,um  
    w!7f*  
    M0<gea\ =  
    8$3G c"=  
    支持文件格式： Akf?BB3bC  
    - 纯文本 " 1YARGu  
    - ASCII码 Zqke8q  
    - 点云 s@C@q(i6  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） y; Up@.IG  
     #$xiqL  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） _dY6Ip%  
    g]9!Pi8jn  
    采样高度剖面的STL导出 2{zFO3i<3  
    | 1H"ya  
    le?hCPHkp  
    n83,MV?-  
    量化界面的GDSII导出  q&0Jl  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。  KTd,^h  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 IiV:bHUE}0  
    *p{wC r  
     
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