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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 $]}K;  
    ?MmQ'1N  
    任务说明 Mw-L?j0o[k  
    ^-n^IR}J  
    n+Conp/  
    matm>3n  
    灵活地导出制造数据： $FX$nY  
    - 平滑的界面 a_{'I6a*,  
    - 量化界面 *b 0z/ 6  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 v,ni9DIu  
     uR.pQo07y<  
    亮点 YPq:z"`-y4  
     导出各种表面形状的制造数据 QHUFS{G ]  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 n@"<NKzh  
         &2 *  
    COw!a\Jl  
    一般界面的制造数据 q+<,FdG  
    m?Cb^WgcF  
    Otq1CD9  
    KD+&5=Y  
    支持文件格式： )1@%!fr  
    - 纯文本 (e!Yu#-  
    - ASCII码 9kqR-T|Q  
    - 点云 .'38^  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） yI07E "9  
     )8}k.t>'s  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） & ?5)Jis:  
    ya^8mp-  
    采样高度剖面的STL导出 %Ny1H/@Q1+  
    Le bc @,  
    eX}aa0  
    #8M^;4N >[  
    量化界面的GDSII导出 8 *{jxN'M  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 gp$Rf9\  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 QkHG`yW  
    i1KjQ1\a+  
     
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