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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 50?5xSEM0_  
    UD+r{s/%  
    任务说明 ,5 ylrE  
    jW< aAd  
    iDdmr32E  
    mD]^a;U[X  
    灵活地导出制造数据： ;Q}pmBkqB  
    - 平滑的界面 mi>CHa+$  
    - 量化界面 Fb^Ae6/i  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "AayU  
     p&O-]o8  
    亮点 m`Dn R`+  
     导出各种表面形状的制造数据 +'!4kwTR  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 f:K3 P[|  
         7k==?,LG3  
    ~Bi{k'A9  
    一般界面的制造数据 qbunP!  
    'a6:3*  
    "{X_[  
    LL}b]B[  
    支持文件格式： q@6Je(H  
    - 纯文本 )h&*b9[B=  
    - ASCII码 4or8fG  
    - 点云 k@RIM(^t  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ywl7bU-f  
     Q*c |!< &e  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 1}#RUqFrvS  
    NW*qw q  
    采样高度剖面的STL导出 sO;]l"{<  
    $At,D.mGkb  
    B;6N.X(K  
    (+=TKI<=  
    量化界面的GDSII导出 6 z2_b wo  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 (4 6S^*  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 zm9_[0  
    xy.di9  
     
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