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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 #"<?_fao~  
    <%&_#<C)  
    任务说明 _ ~[M+IO   
    D7gHE  
    C5MqwNX  
    #QS?s8IrW  
    灵活地导出制造数据： F 3s?&T)[G  
    - 平滑的界面 >: $"a  
    - 量化界面 }jiK3?e  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 j_V/GnEQ  
     YD9!=a$  
    亮点 fM2^MUp[=1  
     导出各种表面形状的制造数据 7D9]R#-K  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 7f r>ZY^  
         7"a4/e;^  
    }uiPvO+&p  
    一般界面的制造数据 `O n(v  
    \%4|t,en  
    ai9  
    _A3X6  
    支持文件格式： QF&6?e06p0  
    - 纯文本 N%u  
    - ASCII码 Pk:zfC?4  
    - 点云 L;lk.~V4T  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） {=iyK/Uf  
     #9,=Owup  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） B\0t&dai|'  
    zi.mq&,]R  
    采样高度剖面的STL导出 P5P< "  
    $Elkhe]O %  
    Q i^;1&  
    .<.#aY;N  
    量化界面的GDSII导出 ( OXY^iq  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 .)t (:)*b  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 u>}zm_  
    HzEGq,.  
     
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