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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 'PYqp&gJ  
    N o\&~  
    任务说明 =XlIe{  
    Uy|=A7Ad c  
    #q.G_-H4J@  
    1[9j`~[([  
    灵活地导出制造数据： Nj&%xe>].  
    - 平滑的界面 % ul{nL:  
    - 量化界面 s/H"Ab  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 dU3 >h[q  
     E?U]w0g  
    亮点 E9 q;>)}  
     导出各种表面形状的制造数据 8lSn*;S,  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 dU^<7 K:S  
         Ab<Ok\e5  
    <>Ddxmw  
    一般界面的制造数据 a;(zH*/XK  
    l5]oS? >y  
    : ";D.{||  
    ~<OjXuYu  
    支持文件格式： zb}+ m#q  
    - 纯文本 QF/u^|f  
    - ASCII码 1y-lZ}s_  
    - 点云 B&k T#  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） zTT  
     nYt\e]3  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） slvs oN@  
    h21(K}  
    采样高度剖面的STL导出  I4f  
    5=h'!|iY  
    fB,1s}3Hn  
    yx w27~  
    量化界面的GDSII导出 B~g05`s  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 |QNLO#$ -  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 m?% H<4X  
    q&d&#3Rh  
     
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