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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 (U$ F) 7  
    ]dk~C?H  
    任务说明 YdE$G>&em  
    !Otyu6&  
    s{IycTbz  
    eW7;yH  
    灵活地导出制造数据： gR~XkU  
    - 平滑的界面 p(U' c}@2  
    - 量化界面 r%_)7Wk*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 h7*fjw-Xz[  
     !\?? [1_e  
    亮点 q ,}W.  
     导出各种表面形状的制造数据 G.T}^ xHmL  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Q3z-v&^E9  
         e7vPi QCc  
    70|Cn(p_  
    一般界面的制造数据 K[T? --H  
    NbG3^(  
    3&3S*1b-H  
    .D)'ZY  
    支持文件格式： a#j0N5<Nl  
    - 纯文本 e[R364K  
    - ASCII码 wCn W]<+  
    - 点云 MK~viSgi  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） u4#BD!W  
     Z4E:Z}~''  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Et`z7Q*e  
    (B,CL222x  
    采样高度剖面的STL导出 J qjb@'i  
    uN6TV*]:  
    FS`{3d2K +  
    d;;]+%  
    量化界面的GDSII导出 ]hv4EL(zi  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 mm:\a-8j  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 z#bO FVg#  
    (AXS QI~y  
     
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