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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 /`>BPQH`}  
    }Zc.rk  
    任务说明 ;S+*s'e  
    \$}^u5Y  
    L+7L0LbNU  
    h)7{Cj  
    灵活地导出制造数据： z{Z'2,#  
    - 平滑的界面 *KN'0Z@W  
    - 量化界面 |E&a3TQW  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 p)RASIB  
     x6\EU=,  
    亮点 Y` Oz\W  
     导出各种表面形状的制造数据 w`&~m:R  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8- 3]Bm!  
         xCz(qR  
    }&Ngh4/  
    一般界面的制造数据 j[k&O)A{C  
    <xOXuve  
    gUwg\>UC  
    wP8Wx~Q=  
    支持文件格式： !E8y!|7$  
    - 纯文本 s'qd%JxD  
    - ASCII码 ?%dsY\  
    - 点云 <SGO+1zt p  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） u6Fm qK]Dj  
     b1JXC=*@  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） nh"nSBRxk  
    \]dx;,T  
    采样高度剖面的STL导出 5P-7"g ca  
    8+5# FC7  
    rrbD0UzFA  
    =~6A c}$  
    量化界面的GDSII导出 @?lmho?  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 XUc(7>k  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ;NQ9A &$)  
    w=H   
     
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