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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 YYYF a  
    %bN{FKNN  
    任务说明 e,_Sj(R8  
    {/,(F^T>2  
    * $fM}6}  
    K6p\ >J  
    灵活地导出制造数据： VPYLDg.'  
    - 平滑的界面 1LRP R@b^  
    - 量化界面 `D~oY=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <m`CLVx8m  
     9=MNuV9/s  
    亮点 Y^!qeY  
     导出各种表面形状的制造数据 i~]6 0M>  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 =JzzrM|V*  
         Q:megU'u  
    %Tp k1  
    一般界面的制造数据 `mz}D76~#  
    ue@/o,C>  
    JP<j4/  
    ]?@ [Ny=0  
    支持文件格式： xz!0BG  
    - 纯文本 pxTtV g.  
    - ASCII码 KJec/qca  
    - 点云 [#uhMn^  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） s_NY#MPz[  
     %u66H2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ^7aqe*|vm  
    q& -mbWBj  
    采样高度剖面的STL导出 Eb4NPWo  
    pJ/]\>#5  
    4uOR=+/l  
    ~F'6k&A^q  
    量化界面的GDSII导出 $5 mGYF]  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 SED52$zA  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 XYWyxx5`  
    lz#.f,h  
     
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