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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 \88 IFE  
    O@KAh5EB  
    任务说明 ? ~~,?Uxw!  
    u O~MT7~[X  
    ^eqq|(<K  
    wQ9fPOm  
    灵活地导出制造数据： ]<E\J+5K  
    - 平滑的界面 t*!Q9GC_  
    - 量化界面 Gh{vExH@5(  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ZCkwK  
     [UaM}-eR  
    亮点 XE*#5u8t  
     导出各种表面形状的制造数据 .n| M5X  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ,W;2A0A?X  
         *s"{JrG`O  
    <F5x}i~(C  
    一般界面的制造数据 N6S}u@{J~N  
    l'(7p`?  
    sMqAuhw$.  
    rIF6^?  
    支持文件格式： sZ7BBJX2K  
    - 纯文本 I78huYAYA  
    - ASCII码 ?bK^IHh  
    - 点云 lA7\c#  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） r}])V[V  
     e@crM'R7Lo  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） p\/;^c`7  
    .^* .-8q  
    采样高度剖面的STL导出 mmgIV&P  
    1'[_J  
    /=ro$@  
    . [\S=K|/  
    量化界面的GDSII导出 "EC,#$e%ev  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,Tc598D  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 FOd)zU*L2  
    c4n]#((%a  
     
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