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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 meArS*d  
    u?lbC9}$  
    任务说明 $[{YE[a  
    V6 uh'2  
    f/UIpswrZ'  
    QM4O|x[   
    灵活地导出制造数据： b3l~wp6>  
    - 平滑的界面 a}5/?/  
    - 量化界面 U}^`R,C  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 yL"UBe}v  
     "eZ~]m}L0  
    亮点 %{ +>\0x  
     导出各种表面形状的制造数据 Wz)@k2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 \<Di |X1  
         !(#d 7R  
    |ohCA&k%;  
    一般界面的制造数据 !T RU  
    OXD*ZKi8  
    ]3I@5}5%  
    WWN2  
    支持文件格式： ]qO*(m:}o  
    - 纯文本 [,Fu2j]  
    - ASCII码 Y?xc#'  
    - 点云  LXf *  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） u -A_l<K  
     Bnh*;J0  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） nZ8jBCh  
    K?eY<L  
    采样高度剖面的STL导出 |^C35 6M>  
    A&L2&ofV&q  
    ,| ~Pa  
    CM4#Nn=i~  
    量化界面的GDSII导出 rHJtNN8$k  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 I T gzD"d  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6@-O#,]J  
    b0uWUI(=  
     
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