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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 ;65D  
    +f|BiW  
    任务说明 ,"\@fwy{  
    Y?K{(szo ?  
    vLT0ETHg6  
    0w=R_C)s  
    灵活地导出制造数据: b2C`g]ibQ  
    - 平滑的界面 lg$zGa?  
    - 量化界面 % 0T+t.  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F$V/K&&W  
    i-" p)2d=#  
    亮点 !w39FfU{  
     导出各种表面形状的制造数据 YA:nOvd@O  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -0C@hM,wm  
         k*mt4~KLT8  
    Yg9joNBh  
    一般界面的制造数据 bBc[bc>R  
    V  ~@^`Gd  
    ZcJ\ZbE|  
    PG~$D];  
    支持文件格式: P{Lf5V9# <  
    - 纯文本 O%8EZyu  
    - ASCII码 z4X}O {  
    - 点云 k,yZ[n|`  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) l{j~Q^U})  
    v'!a\b`9  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) Ho;X4lo[j  
    'cix`l|^  
    采样高度剖面的STL导出 <{5EdX  
    ?a(L.3 E  
    vw,rF`LjZ  
    $D'- k]E[H  
    量化界面的GDSII导出 Z;/$niY  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 #Lv2Zoi>G  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 h:Gu`+D>W  
    kE9esC 3  
     
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