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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 n05GM.|*s  
    ( 1  
    任务说明 ?R sPAL  
    XPdqE`w=$p  
    !PeSnO  
    YW~ 9N  
    灵活地导出制造数据： )sK53O$  
    - 平滑的界面 wBw(T1VN  
    - 量化界面 *'H\`@L  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 /3hY[#e  
     Z*b l J5YC  
    亮点 |N6.:K[`  
     导出各种表面形状的制造数据 ;<T,W[3J  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 GNuIcy  
         =(\BM')l  
    f>Ua7!b  
    一般界面的制造数据 kzK9 .  
    F/LMk8RgR  
    U}Puq5[ ?  
    >iG3!Td)y  
    支持文件格式： 4,R"(ej  
    - 纯文本 nTtEv~a_n  
    - ASCII码 Ja&S_'P[  
    - 点云 ` s+kYWg'Z  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） #1*7eANfr  
     ,gG RCp  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 9Qu(RbDqC  
    ':tdb$h  
    采样高度剖面的STL导出 ^[bFGKE  
    -w"lW7  
    4:**d[|1  
    b+arnKo1fk  
    量化界面的GDSII导出 +03/A`PKrB  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 o+XQMg  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 'xnI N u  
    +C,/BuG  
     
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