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光整形>衍射光学 RQCQGa^cP y,?G75wij 任务说明 %hbLT{w
{7Avba %Z[/U bH/pa#G(
灵活地导出制造数据: 0@K:Tq-mF - 平滑的界面 A dEbyL - 量化界面 .'b3iG& - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 L4pjh&+8 "&#WMi 亮点 Oawr S{ 导出各种表面形状的制造数据 6
2`PK+ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 As~p1%nok mBZDl4 ' Rca
Os 一般界面的制造数据 \678Nx @k+G
Cf y3nm!tjyM @B'8SLoP 支持文件格式: G0QXf - 纯文本 /QXs-T}d - ASCII码 '?G[T28 - 点云 3y=<w|4F - CAD格式(例如,STL,IGES) Flujwh@rg [du>ff STL导出平滑界面(例如Asphere) >3`ctbe |5IY`;+9 采样高度剖面的STL导出 gQh Ccv sIRrEea :.S41S Ac!&j=ZE 量化界面的GDSII导出 g<iwxF 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ZC5Yve8 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 0"^oTmQN lDJd#U'V
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