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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 RQCQGa^cP  
    y,?G75wij  
    任务说明 %hbLT{w  
    {7Avba  
    %Z[/U  
    bH/pa#G(  
    灵活地导出制造数据: 0@K:Tq-mF  
    - 平滑的界面 A dEbyL  
    - 量化界面 .'b3iG&  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 L4pjh&+8  
    "&#W Mi  
    亮点 OawrS{  
     导出各种表面形状的制造数据 6 2`PK+  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 As~p1%nok  
         mBZ Dl4 '  
    Rca Os  
    一般界面的制造数据 \678Nx  
    @k+G Cf  
    y3nm!tjyM  
    @B'8SLoP  
    支持文件格式: G 0QXf  
    - 纯文本 /QXs-T}d  
    - ASCII码 ' ?G[T28  
    - 点云 3y=<w|4F  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) Flujwh@rg  
    [du>ff  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) >3`ctbe  
    |5IY`;+9  
    采样高度剖面的STL导出 gQh Ccv  
    sIRrEea  
    :.S41S   
    Ac!&j=ZE  
    量化界面的GDSII导出 g<iwxF  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ZC5Yve8  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 0"^oTmQN  
    lDJd#U'V  
     
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