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光整形>衍射光学 :18}$ X%iqve"{nB 任务说明 #q0xlF@ Ebi~gGo 1uA-!T*e> u|EJ)dT? 灵活地导出制造数据: 6OPNP0@r - 平滑的界面 Kb5}M/8 - 量化界面 /Z#AHfKF - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 S*3$1BTl [vY)y\W{ 亮点 C;70,!3 导出各种表面形状的制造数据 WYCDEoqU2 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 hdM?Uoo(4a biffBC:q P:XX8 一般界面的制造数据 O,J,Q|`H& I]m&h! cx)x="c #&{)`+!" 支持文件格式: GBd
mT-7 - 纯文本 ;4oKF7]
- ASCII码 *;t_VlaZ - 点云 !a5e{QG0 - CAD格式(例如,STL,IGES) X)[QEq^ =`gFwH< STL导出平滑界面(例如Asphere) &.0 wPyw 3i}$ ~rz]U 采样高度剖面的STL导出 )MM(HS JvW!w)$pY 8Waic&lX~ &hhxp1B 量化界面的GDSII导出 1tpt433 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 aMJ9U)wnK 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 uk.x1*0x zfml^N
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