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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 Y('#jU  
    rfg'G&A(  
    任务说明 !hy-L_wL]  
    5 PJhEB  
    3M7/?TMw{6  
    itP,\k7>d  
    灵活地导出制造数据： R| , g<  
    - 平滑的界面 sb*G!8j  
    - 量化界面 Eyqa?$R  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 P4'Q/Sj  
     :\c ^*K(9  
    亮点 ]:-mbgW  
     导出各种表面形状的制造数据 o#Dk& cH  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6;d*r$0Fc  
         lgy <?LI\  
    `HSKQ52  
    一般界面的制造数据 %)1?TU  
    1n8/r}q'H  
     4e7-0}0  
    \?-<4Bc@  
    支持文件格式： o5PO =AN  
    - 纯文本 lrE5^;/s1  
    - ASCII码 3;9^  
    - 点云 JPHL#sKyz  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 'JE`(xD  
     [|$h*YK  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） u&vf+6=9Dd  
    +Kc  
    采样高度剖面的STL导出 g:@#@1rB6  
    sl l\g  
    Sz`,X0a  
    0#hlsfc]\  
    量化界面的GDSII导出 ;$|nrwhy  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 9cF[seE"0  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F)QDJE0  
    IEi^kJflU  
     
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