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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 _?m(V=z>  
    yiXSYD  
    任务说明 A5I)^B<(  
    ;>EM[u  
    KK/tu+"  
    S"bg9o  
    灵活地导出制造数据： X8a/ `Y,  
    - 平滑的界面 a od-3"7[  
    - 量化界面 ~*&H$6NJS  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 SuJ aL-;  
     ar!R|zmf  
    亮点 D09Sg%w  
     导出各种表面形状的制造数据 ,Bi.1 %$  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 JW83Tp8[8  
         ,GbR!j@6  
    ,F8Yn5h  
    一般界面的制造数据 / |;RV"  
    Fx_z6a  
    H7&8\ FNa  
    /$xU  
    支持文件格式： \R9(x]nZ%  
    - 纯文本 ~rqCN,=d  
    - ASCII码 sQHv%]s 0  
    - 点云 F4-$~ v@  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ;s= l52  
     T\6dm/5  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Y|F9}hj(  
    ky,(xT4  
    采样高度剖面的STL导出 $kdB |4C  
    a8e6H30Sm  
    E!)xj.aS$  
     c(f  
    量化界面的GDSII导出 bivuqKA  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 $Ps|HN  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 }#RakV4  
    ~|D Ut   
     
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