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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 !$%/ rQ9  
    lQ=&jkw  
    任务说明 oi33{#%t  
    J dk3) \  
    <M5{.`o  
     ?.4yg(  
    灵活地导出制造数据： Q#yu(  
    - 平滑的界面 se^NQ=  
    - 量化界面 {ar5c&<  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 3D 4]yR5  
     E|F!S(.:,M  
    亮点 k;"R y8[k  
     导出各种表面形状的制造数据 :,xyVb+  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WI*^+E&=*  
         1B9Fb.i  
    ;PP_3`  
    一般界面的制造数据 pXpLL_  
    twYB=68  
    al3BWRq'f  
    -Fp!w"=T  
    支持文件格式： zR3lX}g  
    - 纯文本 Z>>gXh<e[  
    - ASCII码 t5X G^3X@  
    - 点云 vy2*BTU?  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） $ DABR  
     O]$*EiO\  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 0x3 h8fs  
    @&i#S}%/  
    采样高度剖面的STL导出 'NG^HLD/  
    Y1yvI  
    6,V.j>z  
    A|`Joxr  
    量化界面的GDSII导出 )$9C`d[  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 OTNZ!U/)j  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 X1 0"G~0  
    k vue@  
     
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