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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 8}w6z7e|{  
    ~XeFOM q  
    任务说明 E+C5 h ;p&  
    `"@X.}\  
    U}SXJH&&E  
     Xtq{%  
    灵活地导出制造数据： I]!^;))  
    - 平滑的界面 {G*A.$-d  
    - 量化界面 (Toq^+`c  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %r)avI  
     zY+Fl~$S  
    亮点 q %A?V _  
     导出各种表面形状的制造数据 0ult7s}  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 pdd/D  
         | nJZie8m  
    VDB;%U*D  
    一般界面的制造数据 L}#0I+Ml7  
    2wqk,c[]  
    G#Ou[*O'  
    ~7!7\i,Y8\  
    支持文件格式： }6 5s'JB  
    - 纯文本 qC!&x,}3  
    - ASCII码 VGL#!4wK  
    - 点云 fx8EB8A7K7  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） X}P$emr7  
     ,%bhyww<  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） |_u8mV  
    *]JdHO  
    采样高度剖面的STL导出 PN+G:Qv  
    VE2tq k%  
    e$c?}3E!z  
    +*oS((0s  
    量化界面的GDSII导出 j\RpO'+}  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 %=j3jj[  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6B$q,"%S@  
    \bCX=E-  
     
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