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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 hnffz95  
    >>QY'1Eu  
    任务说明 Hf%@3X  
    mbKZJ{|4s  
    p99 ]  
    z$&{:\hj  
    灵活地导出制造数据： bYcV$KJk  
    - 平滑的界面 {IjF+@I  
    - 量化界面 t DO=P c  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >d(~# Z`  
     &r[`>B{tP  
    亮点 cA&9e<  
     导出各种表面形状的制造数据 gK+ 4C  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 d}OTO10  
         Lt2u,9  
    d|jNf</`  
    一般界面的制造数据 ;RH;OE,A  
    9-sw!tKx  
    Av$]|b  
    OP;v bZ  
    支持文件格式： FX;QG94!  
    - 纯文本 :)8VdWg  
    - ASCII码 >|J`s~?  
    - 点云 @g|v;B|{  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） .L+6 $8m  
     Z/G ev"p  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） G5{T5#  
    B=U 3  
    采样高度剖面的STL导出 Z3%}ajPu[  
    l(yZO$  
    Zj_b>O-V  
    Eu0akqZ  
    量化界面的GDSII导出 @MoKWfc  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 T!uM+6|Y  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 .7^c@i[  
    D,FHZD t  
     
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