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光整形>衍射光学 ;65D +f|BiW 任务说明 ,"\@fwy{ Y?K{(szo ? vLT0ETHg6 0w=R_C)s 灵活地导出制造数据: b2C`g]ibQ - 平滑的界面 lg$zGa? - 量化界面 % 0T+t. - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F$V/K&&W i-"
p)2d=# 亮点 !w39FfU{ 导出各种表面形状的制造数据 YA:nOvd@O 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -0C@hM,wm k*mt4~KLT8 Yg9joNBh 一般界面的制造数据 bBc[bc>R V~@^`Gd ZcJ\ZbE| PG~$D]; 支持文件格式: P{Lf5V9# < - 纯文本 O%8 EZyu - ASCII码
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- 点云 k,yZ[n|` - CAD格式(例如,STL,IGES) l{j~Q^U}) v'!a\b`9 STL导出平滑界面(例如Asphere) Ho;X4lo[j 'cix`l|^ 采样高度剖面的STL导出 <{5EdX ?a(L.3E vw,rF`LjZ $D'-k]E[H 量化界面的GDSII导出 Z;/$niY 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 #Lv2Zoi>G 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 h:Gu`+D>W kE9esC3
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