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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 {}ZQK  
    SLc6 ]?  
    任务说明 mb*L'y2r  
    Mp ~E $f  
    |/g\N, ]  
    AG#5_0]P~  
    灵活地导出制造数据： 6M"]p  
    - 平滑的界面 AO9F.A<T5  
    - 量化界面 m&OzT~?_>N  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 HzM^Zn57%  
     gU Cv#:  
    亮点 PCs+` WP!M  
     导出各种表面形状的制造数据 p3*}!ez4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 =@m|g )  
         aF$HF;-y  
    GP uAIoBo  
    一般界面的制造数据 0 )#5_-%  
    W:P4XwR{  
    4ow)vS(  
    <Ja>  
    支持文件格式： {vAq08  
    - 纯文本 H~@E&qd  
    - ASCII码 =%|S$J  
    - 点云 S@zsPzw  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） fw_V'l#\  
     8 @!/%"Kt2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） jd=k[Yqr  
    R{3f5**0  
    采样高度剖面的STL导出 ;t@zH+*}  
    '1=t{Rw  
    :t]YPt  
    5-bd1!o  
    量化界面的GDSII导出 )k3zOKZ;  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 "-vm=d~\  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 }@}jwi)l  
    H.j(hc'  
     
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