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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 %l$W*.j|;  
    LE;g 0s  
    任务说明 7NF/]y4w  
    ;pZ[|  
    (|u31[  
    :&yDqoQKJ  
    灵活地导出制造数据： R$6qoqv{yG  
    - 平滑的界面 "JT;gaEm  
    - 量化界面 rC }}r!!  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 w*~Tm>U  
     'uC59X4l  
    亮点 `s /?b|,  
     导出各种表面形状的制造数据 I3)Zr+  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ][:rLs  
         8^ #mvHah  
    QK <\kVZ8  
    一般界面的制造数据 `X8@/wf#  
    LWmB, Zf/  
    >K:u ?YD[  
    IXq(jhm8bL  
    支持文件格式： f)6))  
    - 纯文本 !j^&gRH  
    - ASCII码 6|=j+rScv  
    - 点云 ;j'Daupt;=  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） "J19*<~  
     |NMO__l@  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ISNcswN#  
    CL9yEy"V  
    采样高度剖面的STL导出 OJ3UE(,I=  
    Ly #_?\bn  
    r9@AT(  
    DxSsg  
    量化界面的GDSII导出 BIMKsF Zt  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \}dyS8  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 92[a; a  
    <nzN$"%  
     
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