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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 1yd}F`{8UF  
    [bh8Nj\E  
    任务说明 5fvY#6;  
    xT8pwTO  
    H"vkp~u]I  
    W[SZZV_(tu  
    灵活地导出制造数据： 7^FJ+gN8b  
    - 平滑的界面 /'QfLW>6  
    - 量化界面 9g~"Y[ ]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 :406Oa  
     vrX@T ?>  
    亮点 nXJG4$G  
     导出各种表面形状的制造数据 Bm$(4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Iw[7;B5v  
         | k?r1dj%O  
    hM "6-60  
    一般界面的制造数据  3PUyua'  
    ,a'Y^[4k?  
    vE{L`,\ q  
    .H#<yPty  
    支持文件格式： fq<JX5DER  
    - 纯文本 Ba#wW E  
    - ASCII码 ,)35Vi;.  
    - 点云 TsF>Y""*M  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Q4h6K 7  
      Op5S'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 2Fc>6]:*  
    T=,A pa  
    采样高度剖面的STL导出 'Da*MGu9  
    nm#,oX2C  
    U["-`:>jfp  
    nh]}KFO h  
    量化界面的GDSII导出 I[w;soI  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 $!v:@vNMs  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 %CIRN}  
    >_|$7m.?n[  
     
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