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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 :18}$  
    X%iqve"{nB  
    任务说明 #q0xlF@  
    Ebi~gGo  
    1uA-!T*e>  
    u|EJ)dT?  
    灵活地导出制造数据: 6OPNP0@r  
    - 平滑的界面 Kb5}M/8  
    - 量化界面 /Z#AHfKF  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 S*3$1BTl  
    [vY)y\W{  
    亮点 C;70,!3  
     导出各种表面形状的制造数据 WYCDEoqU2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 hdM?Uoo(4a  
         biffBC:q  
    P:X X8&#  
    一般界面的制造数据 O,J,Q|` H&  
    I] m&h!  
    cx)x="c  
    #&{)`+!"  
    支持文件格式: GBd mT-7  
    - 纯文本 ;4oKF7]   
    - ASCII码 *;t_V laZ  
    - 点云 !a5e{QG0  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) X)[QEq^  
    =`gFwH<   
    STL导出平滑界面(例如Asphere) &.0wPyw  
    3i}$ ~rz]U  
    采样高度剖面的STL导出 )MM(HS  
    JvW!w)$pY  
    8Waic&lX~  
    &hhxp1B  
    量化界面的GDSII导出 1tpt433  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 aMJ9U )wnK  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 uk.x1*0x  
    zfml^N  
     
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