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光整形>衍射光学 3RUy,s Yz9owe8}[ 任务说明 '"52uZ{ qRu~$K 3h]g}&k k<z)WNBf 灵活地导出制造数据: A_rGt?i - 平滑的界面 a6ekG YW - 量化界面 M+oHtX$ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 E[OJ+ ;c q#~ (/ 亮点 \a<wKTkn 导出各种表面形状的制造数据 2V]UJ< 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 g9OY<w5s] UklUw )J=! L\ 一般界面的制造数据 ?C]vS_jAh ;2G*wR S*pGMuui pt?bWyKG 支持文件格式: 3s*mbk[J - 纯文本 ,.S~
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