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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 uG2(NwOL  
    BCB"& :}  
    任务说明 IVD1 mk  
    6zs&DOB  
    -o\$.Q3  
    ia15r\4j)  
    灵活地导出制造数据： NVx`'Il8 "  
    - 平滑的界面 ?(GMe>  
    - 量化界面 `j*&F8}  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Ju$=Tn  
     xZjl_ b J  
    亮点 (g,lDU[=  
     导出各种表面形状的制造数据 ^_b+o  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 q q}EXq^  
         !}wJ+R ^2  
    KN U/Kc#  
    一般界面的制造数据 evf){XhT;n  
    9 v)p0  
    V^aX^;  
    bHcb+TR3  
    支持文件格式： <tK 6+isc  
    - 纯文本 v 1Yf:c  
    - ASCII码 r{qM!(T  
    - 点云 E",s]  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 9 O| "Ws>{  
     )#[?pYd  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） \FN"0P(G  
    m`C(y$8fU  
    采样高度剖面的STL导出 jLC,<V*  
    FH}n]T  
    b)@%gS\F  
    N'R^S98x  
    量化界面的GDSII导出 sKIWr{D  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 8}Rwf?B  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 >XP]NY}Po[  
    P\;lH"9  
     
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