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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 3RUy, s  
    Yz9owe8}[  
    任务说明 '"52uZ{  
    qRu~$K  
    3h]g}&k  
    k<z )WNBf  
    灵活地导出制造数据: A_rG t?i  
    - 平滑的界面 a6 ekG YW  
    - 量化界面 M+oHtX$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 E[OJ+ ;c  
    q#~ (/  
    亮点 \a<wKTkn  
     导出各种表面形状的制造数据 2V]UJ<  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 g9OY<w5s]  
         UklUw  
    )J=!L\  
    一般界面的制造数据 ?C]vS_jAh  
    ;2G*wR  
    S*pGMuui  
    pt?bWyKG  
    支持文件格式: 3s*mbk[J  
    - 纯文本 ,.S~ Y  
    - ASCII码 />C^WQI^  
    - 点云 P|`8}|}a  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) vo?9(+:|e  
    `Uq#W+r,  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) `&qL(66  
    DmK57V4L^  
    采样高度剖面的STL导出 UJUEYG  
    , };& tR  
    cs48*+m  
    qyb?49I  
    量化界面的GDSII导出 'JtBZFq  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 . P viA  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 _=r6=.  
    e v}S+!|U  
     
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