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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 B9(w^l$kZ|  
    A6z2KVk  
    任务说明 G[}v?RLI  
    gX"  
    GwO`@-}E  
    >p&"X 2 @  
    灵活地导出制造数据： Sr+hB>{  
    - 平滑的界面 HOi~eX1d  
    - 量化界面 x@ X2r  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5,xPB5pK  
     Up Z 9g"  
    亮点 6TRLHL~B  
     导出各种表面形状的制造数据 auI`'O`/  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ,RV>F_  
         (ot,CpI(I  
    CLND[gc  
    一般界面的制造数据 Pk&=\i<  
    hq"n RH  
    uV|F 3'jT  
    F]RPM(!5O)  
    支持文件格式： Z71_D  
    - 纯文本 (YJ2- X~  
    - ASCII码 23|JgKuA  
    - 点云 f0eQq;D$K  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） hq4&<Zr(  
     :E{)yT  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） =pzTB-G  
    FM%WMyb[  
    采样高度剖面的STL导出 !bzWgD7j  
    |keU+De  
    #@nPB.  
    A}! A*z<9  
    量化界面的GDSII导出 8K^#$,.."  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 >07i"a  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 -Tvnd,  
    N[9o6Nl|a  
     
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