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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 ]\F}-I[  
    >AW&Lfw$  
    任务说明 3Qd%`k  
    w" Y'I$  
    co*XW  
    h]WW?.   
    灵活地导出制造数据： P,)\#([vc  
    - 平滑的界面 QPX3a8w*  
    - 量化界面 x{3q'2  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 n9Ktn}  
     #kp +e)F  
    亮点 YJ>P+e\o9  
     导出各种表面形状的制造数据 }tbZ[:T{K  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面  #zg"E<  
         >g,i"Kg  
    .q'{ 3  
    一般界面的制造数据 Hm]\.ZEy  
    Bkdt[qDn5P  
    _.xicov  
    %JuT'7VB  
    支持文件格式： pDt45   
    - 纯文本 vP^V3  
    - ASCII码 =QhK|C!$A  
    - 点云 Z`>m   
    - CAD格式（例如，STL，IGES） c3J12+~;  
     ]JlM/  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） i!+0''i{#  
    |H;+9(  
    采样高度剖面的STL导出 qcoTt~\  
    ycrM8Mu 3  
    Mh=j^ [4Q  
    uE'Kk8  
    量化界面的GDSII导出 R T/)<RT9  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 gaR~K  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 :_kZkWD5  
    b5W(}ka+  
     
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