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光整形>衍射光学 P@ u%{ |M&/(0 任务说明 ^%.<(:k[L igCtq!.a L x&ZWF$ iddT. 灵活地导出制造数据: nz+KA\iW - 平滑的界面 75ob1h" - 量化界面 `MS=/x E - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^}#!?"Y )kUw,F=6 亮点 pe-d7Ou
P 导出各种表面形状的制造数据 =nl,5^ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 J!>oC_0]8 J %t1T]y~ Bc@e;k@i 一般界面的制造数据 {DR+sE a;sZNUSn J(]nPwm=.- V8/o@I{U[ 支持文件格式: !ywc). ]e - 纯文本 6=k^gH[g - ASCII码 k-/$8C - 点云 PE>_;k-@k - CAD格式(例如,STL,IGES) IYFA>*Es
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STL导出平滑界面(例如Asphere) mdd~B2"el YDwns 采样高度剖面的STL导出 ~czt= P!/8 h2nyP z&8#1' 量化界面的GDSII导出 _rv_-n]"o 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 pI4<`
K 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 9azPUf)
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