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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 P@ u%{  
    |M&/( 0  
    任务说明 ^%.<(:k[L  
    igCtq!.a  
    L x&ZWF$  
    iddT.   
    灵活地导出制造数据: nz+KA\iW  
    - 平滑的界面 75ob1h"  
    - 量化界面 `MS=/xE  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^} #!?" Y  
    )k Uw,F=6  
    亮点 pe-d7Ou P  
     导出各种表面形状的制造数据 =nl,5^  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 J!>oC_0]8  
         J %t1T]y~  
    Bc@e;k@i  
    一般界面的制造数据 {DR+sE  
    a;sZNUSn  
    J(]nPwm=.-  
    V8/o@I{U[  
    支持文件格式: !ywc).]e  
    - 纯文本 6=k^gH[g  
    - ASCII码 k-/$8C  
    - 点云 PE>_;k-@k  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) IYFA>*Es  
     AHb   
    STL导出平滑界面(例如Asphere) mdd~B2"el  
    YDwns  
    采样高度剖面的STL导出 ~cz t=  
    P!/8   
    h2nyP  
    z&8#1'  
    量化界面的GDSII导出 _rv_-n]"o  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 pI4<` K  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 9azPUf) C  
    "x)W3C%*S  
     
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