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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 bLyU;  
    Z<6XB{Nh\  
    任务说明 iO)FZ%?"  
    u-g2*(ZT  
    ;*K@8GnU  
    AV\6K;~  
    灵活地导出制造数据： $Cw> z^}u  
    - 平滑的界面 `,XCD-R^  
    - 量化界面 d?G ~k[C!a  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 iq_y80g`8h  
     RO(~c-fV  
    亮点 B2\R#&X.  
     导出各种表面形状的制造数据  B@Acm  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 42X N*br  
          II;fBcXF  
    Enu/Nj 2  
    一般界面的制造数据 Uf#.b2]  
    [jb3lO$Xa  
    W<<{}'Db/#  
    0F$;]zg  
    支持文件格式： f;1DhAS  
    - 纯文本 3T)GUzt`  
    - ASCII码  AnK-\4  
    - 点云 !;'#f xW[  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） = WFn+#&^  
     q3a`Y)aVB  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） %Q9 iR5?  
    kigq(a  
    采样高度剖面的STL导出 $2u^z=`b!%  
    /5 rWcX  
    "/ G^+u  
    ^fVLM>p<;  
    量化界面的GDSII导出 z8W@N8IqC  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )NG{iD{_]  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 (#6E{@eq  
    m/W0vPM 1  
     
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