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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 "HC)/)Mv@  
    tcA;#^jc  
    任务说明 a)S7}0|R  
    JJ5C}`(  
    zu<3^=3  
    ><Uk*mwL  
    灵活地导出制造数据： ~G `J r  
    - 平滑的界面 p)/ p!d[T/  
    - 量化界面 )N7n,_#T>  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <TxC!{<  
     2U9&l1P=  
    亮点 bx>i6 R2  
     导出各种表面形状的制造数据 uRQ_'l  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 16$y`~c-z  
         !kXeO6X@m  
    Y&~M7TYb  
    一般界面的制造数据 9+Nw/eszO  
    L'9N9CR{i  
     Oh`2tc-  
    mP-2s;q  
    支持文件格式： h\y-L~2E  
    - 纯文本 / L~u0 2?  
    - ASCII码 bGv4.:)  
    - 点云 8R xc&`_X  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )#`H."Z  
     `|<+  ?  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Z@J.1SaB  
    9$ O@`P\  
    采样高度剖面的STL导出 .wc = ]  
    #D)x}#V\  
    @ls.&BHUP  
    )^ <3\e  
    量化界面的GDSII导出 &U &%ka<*  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 cwynd=^nC  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。  Q2\  
    D;js.ZF  
     
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