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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 D]WrPWL8v  
    9LSV^[QUH  
    任务说明 Z~;rp`P  
    rG%8ugap  
    59X XmVg  
    vm =d?*cR  
    灵活地导出制造数据： tLP Er@  
    - 平滑的界面 `r %lB  
    - 量化界面 u Vo"_c w  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ,@zw  
     nPjK=o`KR  
    亮点 qu;$I'Ul%  
     导出各种表面形状的制造数据 [|\#cVWs  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ^W~8)Rbf  
         Dnd  
    PE?ICou  
    一般界面的制造数据 &<- S-e  
    -U|Z9sia  
    +DE;aGQ.z?  
    $dsLU5]1o  
    支持文件格式： 00yWk_w  
    - 纯文本 Qve5qJ  
    - ASCII码 2dDhO  
    - 点云 D/wJF[_  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 27}0  
     x4v&%d=M  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @h/-P'Lc=7  
    z]2lT IWg  
    采样高度剖面的STL导出 |fo#pwX  
    7t/Y5Qf  
    Z tc\4  
    f6{.Uq%SGp  
    量化界面的GDSII导出 uI I! ?   
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 *] !r T&E  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 e2L>"/  
    7JBr{3;eS  
     
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