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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 3hBYx@jTO  
    +}( ]7du  
    任务说明 |}e"6e%  
    I]5){Q" S  
    kSol%C  
    ? eI)m  
    灵活地导出制造数据： u81F^72U  
    - 平滑的界面 y]obO|AH  
    - 量化界面 C" `\[F`.k  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 DwFvM0O6\  
     G@~e :v)  
    亮点 _C1u}1hW#  
     导出各种表面形状的制造数据 fM:bXR2Y'  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 rVsCJuxI  
         [:e>FXV  
    Wt!;Y,1 s  
    一般界面的制造数据 u 1}dHMoX~  
    Ktzn)7-  
    QjJlVlp  
    y,Bj,zw  
    支持文件格式： Bs`='w%7  
    - 纯文本 i>G:*?a  
    - ASCII码 ujX\^c  
    - 点云 +JD^5J,-NJ  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） >.C$2bW<L  
     <b\.d^=B  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） R*W1<W%q=  
    TQ/#  
    采样高度剖面的STL导出 QJkiu8r  
    #\Q)7pgi.  
    o!y<:CGL  
    Ly, ];  
    量化界面的GDSII导出 E6G;fPd= E  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 j9RpYz  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F3Vvqt*2  
    PiR`4Tu  
     
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