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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 @AYo-gf  
    OLj\-w^  
    任务说明 cbu@*NzY,  
    02k4 N%  
    gxGrspqg  
    \OpoBXh  
    灵活地导出制造数据： ACK1@eF  
    - 平滑的界面 [|3>MZ2/  
    - 量化界面 45H!;Q sk  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 irZFV  
     Px>va01n  
    亮点 xyE1Gw`V  
     导出各种表面形状的制造数据 h`}3h< 8  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -sMytHH.  
         iY bX  
    .~gl19#:T  
    一般界面的制造数据 <d7V<&@o=  
    **[Z^$)u(  
    CC3v%^81l^  
    )P>u9=?,=E  
    支持文件格式： ;*[9Q'lI*  
    - 纯文本 <vbIp&  
    - ASCII码 6dEyv99  
    - 点云 U^Tp6vN d  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ^5t  
     ksjUr1o  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 9><mp]E4  
    cDXsi#Raj  
    采样高度剖面的STL导出 @oG)LT  
    v}v 5  
    vG2b:[W  
    GW2')}g  
    量化界面的GDSII导出 ?Jtg3AY  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 k,Zm GllQ]  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 `4CWE_k  
    dy>|c j  
     
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