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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 $[zy|Y(  
    3QL I|VpO  
    任务说明 l{U-$}  
    S1 22. I  
    xf1@mi[a  
    MCN}p i  
    灵活地导出制造数据： Nh7D&#z  
    - 平滑的界面 H8[ L:VeNT  
    - 量化界面 %T:~N<8)  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 NYwE=b~I  
     U 00}jH  
    亮点 Y8I*B =7  
     导出各种表面形状的制造数据 &WW|! 6  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 <^j,jX  
         '~?\NeO=  
    /A3tY"Vn  
    一般界面的制造数据 N*.JQvbnr  
    j6wdqa9!~  
    NP%Y\%;l6  
    V:?exJg9  
    支持文件格式： r|rOIAo  
    - 纯文本 yLfb'Ba  
    - ASCII码 9F8"(  
    - 点云 iU^KmM I  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） _F|oL|  
     >;Er[Rywr  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 0)/L+P5  
    o"F=3b~:n  
    采样高度剖面的STL导出 X) lzBM  
    w4YuijhW  
    E? > ERO3  
    7~@q#]U[  
    量化界面的GDSII导出 #QdBI{2  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 uW*)B_c  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 5c?1JH62o8  
    N%Gb  
     
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