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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 Z7<N<  
    qwlIz/j  
    任务说明 `TM[7'  
    /( /)nYAjk  
    e}u# :ysj  
    ('/5#^%R  
    灵活地导出制造数据： \($EYhx  
    - 平滑的界面 QU/Q5k  
    - 量化界面 yq{k:)  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 jP{LMmV  
     WXqrx*?*+  
    亮点 #tyHjk  
     导出各种表面形状的制造数据 *5DOTWos  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $7{|  
         7l"N%e  
    TI{W(2O*  
    一般界面的制造数据 rrGsam\.  
    V9:h4]  
    )q?z "F|  
    hadGF%> O6  
    支持文件格式： <<@vy{*Hg  
    - 纯文本 T&_!AjH  
    - ASCII码 hjB G`S#  
    - 点云 2QUZAV\ Y  
    - CAD格式（例如，STL，IGES）  '&/"_  
     1LTl=tS#  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @\,WJmW  
    q' };.tv  
    采样高度剖面的STL导出 d($f8{~W  
    ='1J&w~7  
    4qtjP8Zv[  
    RW!D! ~  
    量化界面的GDSII导出 -ec ~~95  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 @Oe!*|?mS  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 tcYbM+4e  
    Xp <RG p7E  
     
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