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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 3q.HZfN~  
    V@\A<q%jTs  
    任务说明 QPKY9.Rvv  
    _7,4C?  
    LcGG~P|ML  
    h&x;#.SYK  
    灵活地导出制造数据： Y 9@ 2d  
    - 平滑的界面 6{H@VF<QY!  
    - 量化界面 ;qaNIOo9  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Z%QU5.  
     WTwura,  
    亮点 d%#5roR4<  
     导出各种表面形状的制造数据 7|X.E  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 m*` W&k[  
         'y|p)r"  
    ef:YYt{|q  
    一般界面的制造数据 1=mb2A  
    !~te&ccPE  
    {r_x\VC=p  
    ||'A9  
    支持文件格式： j~#v*qmDU  
    - 纯文本 Wn5xX5H C  
    - ASCII码 6gB;m$:fV  
    - 点云 #=czqZw  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） sH :_sOV*  
     ~[:Cl  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） N==Y]Z$G  
    8-FW'bA  
    采样高度剖面的STL导出 Qp~3DUM  
    .]ZMxDZ  
    +}Qq#^:_\  
    "$e p=h+  
    量化界面的GDSII导出 5XinZ~  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 0"koZd,c  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 kw5`KfG9  
    7xCm"jgP  
     
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