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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 :5kgJu  
    Z:F5cXt<  
    任务说明 _3_d;j#G U  
    BLc&q)  
    MDETAd  
    FFE IsB"9  
    灵活地导出制造数据： o80?B~o  
    - 平滑的界面 8NY $Iw  
    - 量化界面 ;Y:_}kN8_  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列  Co e q<  
     ,SEC~)L  
    亮点 tnx)_f  
     导出各种表面形状的制造数据 (W*~3/@D  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 1<Vc[p&  
         Y6LoPJ  
    %EC{O@EAk  
    一般界面的制造数据 53y,eLf  
    F_8 < tA6  
    ]-  
    EBF608nWfW  
    支持文件格式： +h!OdWD9  
    - 纯文本 8 1Ar.<  
    - ASCII码 8)(<U/  
    - 点云 *Q= 3v  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ?Bg<74  
     A0L&p(i  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） We^! (G  
    ] r8 hMv  
    采样高度剖面的STL导出 R-xWZRl>  
    [8Zq 1tU;G  
    ,~ ;_ -  
    ]<3$Sx_{y  
    量化界面的GDSII导出 jY.iQBhjEB  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Bq}p]R3X  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 &r0b~RwUv  
    PFP/Pe Ng;  
     
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