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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 !'Xk=+  
    6pI =?g  
    任务说明 !SIGzj  
    )JTh=w4n|z  
    Deq~"  
    {j[[E/8N!y  
    灵活地导出制造数据： gk~.u  
    - 平滑的界面 vV-ATIf ^  
    - 量化界面 &F[/@  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Y4}!9x  
     )h,+>U@  
    亮点 @#1k+tSA,  
     导出各种表面形状的制造数据 Rk56H  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 e~c;wP~cO  
         *'vX:n&t  
    tt,MO)8 VD  
    一般界面的制造数据 ~" B0P>7  
    zuWj@YG\.  
    KP[ax2!x  
    I)V2cOrXM  
    支持文件格式： =U!'v X d  
    - 纯文本 =;0#F&  
    - ASCII码 \szx.IZT  
    - 点云 C 7YZ;{t  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） *f$mSI=  
     =- ~82%  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） P*T 'R  
    97e fWYj  
    采样高度剖面的STL导出 [ECSJc&i  
    R:x4j#(  
    tfvX0J  
    y'xB? >|  
    量化界面的GDSII导出 3 zp)!QJi  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 nZhL  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 xvQJTR k  
    1j# ~:=I  
     
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