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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 [l[{6ZXt  
    Uk-HP\C"7  
    任务说明 ZcZ;$*  
    sS,#0Qt.  
    +*t|yKO>[  
    e!o(g&wBj  
    灵活地导出制造数据： IM-`<~(I#  
    - 平滑的界面 vg5NY =O  
    - 量化界面 XS0V:<+,  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Ob(leL>ow  
     %N~;{!![p  
    亮点 +(ny|r[#  
     导出各种表面形状的制造数据 U4wpjHg  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vO$ra5Z  
         9p> /?H|  
    t]TyXAr~  
    一般界面的制造数据 @ u1Q-:  
    xYR#%!M  
    v'nHFC+p  
    Uh+jt,RB`  
    支持文件格式： org*z!;.   
    - 纯文本 z`'P>.x   
    - ASCII码 yzc pG6 ,  
    - 点云 I>((o`  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） _ +KmNfR  
     >}F?<JB  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） yH(V&Tv  
    3Hm7 uBZ  
    采样高度剖面的STL导出 #,P(isEZ"  
    9N}W(>  
    ~N[|bPRmhE  
    ^W['A]l  
    量化界面的GDSII导出 kukaim>K  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 zH+<bEo=1=  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 =8S}Iat  
    WTu{,Q  
     
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