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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 ~4}m'#!  
    7kn=j6I  
    任务说明 9[N' HpQ3  
    1jmhh !,  
    JXj`  
    :yT~.AK}>1  
    灵活地导出制造数据： f Jv 0 B*  
    - 平滑的界面 3:Co K#  
    - 量化界面 !xo@i XL  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #`"'  
     $ O!f*lG  
    亮点 |r-<t  
     导出各种表面形状的制造数据 n+GCL+Mo  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 >^J!Z~;L)  
          NkO$ M  
    A#1y>k  
    一般界面的制造数据 66L*6O4  
    M~662]Ekk  
    h]EXD   
    _ux 6SIyp`  
    支持文件格式： R&xD|w8UjM  
    - 纯文本 7DYD+N+T  
    - ASCII码 T)C  
    - 点云 6  09=o+  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） t1Jz?Ix6%  
     0_]aF8j  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） jB1\L<P  
    p>}N9v;Bo  
    采样高度剖面的STL导出 -x_iqrB  
    *E. 2R{  
    moo>~F _^  
    pP/o2  
    量化界面的GDSII导出 b5)>h  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 rRt<kTk!U  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 sN?:9J8  
    [cW  
     
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