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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 0$U\H>r  
    2_Cp}Pj  
    任务说明 %uo#<Ny/ I  
    y'JJ#7O=  
    4]Gm4zO  
    6k+tO%{~  
    灵活地导出制造数据： :&E~~EUW  
    - 平滑的界面 d/YQ6oKU  
    - 量化界面 ^a!oq~ZSy  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 6r[pOl:  
     >Tn[CgH]7  
    亮点 I^D*) z   
     导出各种表面形状的制造数据 SLvo)`Nc3-  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 @ W q8AFo  
         'l-VWqR-  
    t!>0^['g4  
    一般界面的制造数据 X6?Gxf,  
    (?.h<v1}  
    $ylxl"Y  
    I6S>*V  
    支持文件格式： ]a:T]x6'  
    - 纯文本 hWX4 P  
    - ASCII码 5\ }QOL  
    - 点云 !8RJHMX&  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） !Uhcjfq`e  
     7a.iT-*  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） V@1,((,l  
    ?b]f$ 2  
    采样高度剖面的STL导出 cn9=wm\\  
    :`4LV  
    Nvd(Tad  
    oiz]Bd  
    量化界面的GDSII导出 ItAC=/(d  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 _e|-O>#pl  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ZalL}?E ?  
    o+S?j*mv@  
     
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