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光整形>衍射光学 8EZ$g<} ]3D0R; 任务说明 MU($|hwiL `xKp%9 `
)/vq-9 zykT*V 灵活地导出制造数据: IB(6+n,6s - 平滑的界面 4.k0< - 量化界面 $[Sc0dzJ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 xipU8'ac/ DHyq^pJ 亮点 uu-PJTNZ 导出各种表面形状的制造数据 a4mn*, 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 U'k*_g x,'(5* RF`.xQ26= 一般界面的制造数据 3$jT*OyG# Q0)#8Rcm xzdf^Ce G'nmllB`] 支持文件格式: 7!$Q;A - 纯文本 KWq+PeB5TS - ASCII码 ]Oe2JfJwx - 点云 7LfAaj - CAD格式(例如,STL,IGES) 8^kGS-+^ !eGC6o}f STL导出平滑界面(例如Asphere) s,"]aew B |5]Jm] 采样高度剖面的STL导出 2A']yD o$wEEz*4 ^+*N%yr e+=y*OmQ 量化界面的GDSII导出 jrCfWa}z 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 eln)BW# 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 w_ akn t T _jvxc'6
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