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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 db_?da;!`  
     wk8fa  
    任务说明 XBCHJj]k  
    {[Ri:^nHgL  
    ~< UYJc  
    e#h&Xa  
    灵活地导出制造数据： 9M9Fif.  
    - 平滑的界面 2(3Q#3V  
    - 量化界面 _oBx:G6E  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 M$ieM[_T  
     #'%ii,;w Q  
    亮点 r5hkxk'  
     导出各种表面形状的制造数据 uuFQTx))  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3T]cDVQ_  
         ;ZI8vF b  
    }DjVZ48  
    一般界面的制造数据 ,=Wj*S)~  
    J0R{|]W8  
    N-F&=u}  
    > _sSni  
    支持文件格式： @"fv[=Xb  
    - 纯文本 jJ<&!=  
    - ASCII码 w)vpo/?  
    - 点云 bIBF2m4  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 1=IOio4U  
     VM<0_R24z  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <#M1I!R  
    db1ZNw  
    采样高度剖面的STL导出 [T7&)p  
    K*Ba;"Ugeg  
    vD9.X}l]  
    b1IAp>*2l  
    量化界面的GDSII导出 <$A/ ('  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 (NR( )2  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 *.wj3' wV  
    i.On{nB"k  
     
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