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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 hq8/`u YF  
    fddbXs0Sn  
    任务说明 .Qi1I  
    l6DIsR  
    |e-+xX|;  
    Z Lio8  
    灵活地导出制造数据： b}U&bFl  
    - 平滑的界面 8.%a"sxr  
    - 量化界面 -IsdU7}  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |8U7C\S[  
     i e)1h  
    亮点 _:=OHURc  
     导出各种表面形状的制造数据 dR, NC-*  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 +i_f.Ipp  
         .6Lhy3x  
    ttq< )4  
    一般界面的制造数据 #z^1)7  
    U;Y}2  
    19-yM`O  
    GoVPo'  
    支持文件格式： yJ`1},^  
    - 纯文本 RdVis|7o  
    - ASCII码 dj&m  
    - 点云 ^`r|3c0  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） *Qwhi&k  
     8YLZ)k'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） aU8Ti8A>  
    "`gZ y)E  
    采样高度剖面的STL导出 )%@WoBRj  
    b%jG?HSu  
    $HCAC 4  
    % m5^p  
    量化界面的GDSII导出 Sfa m=.l  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2c`=S5  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 W!0  
    D& 6Qk&>  
     
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