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光学测量>显微 M?= ;JJ: : ^ 8 任务/系统描述 $P1O>x>LIL jp $Z]
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SIbDj[s f;}EhG' 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 d
Le-nF 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 S1D@vnZ3O\ 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 P&Pj>!T5
rr#K"SP 说明:光源 P2nft2/eu? n}s~+USZX A'G@uD@3 ##Z_QB(; 说明:透镜系统 5,)Qw ,gL9?Wz F:6SPY
y 0* /{4)r 说明:样品结构 '#(v=|J aZEn6*0B -hkQ2[Ew# s?ko?qN( 说明:探测器 #
O4gg $lhC{&tBV W>q HFoKa 6sa"O89 结果:3D光线追迹 N)&4Hy 3Vp#a:
;<0LXYL; QdLYCR4f 结果:场追迹矩形光栅 4A9{=~nwT Mwgu93? WD'#5]#Y 0oEOre3^% 结果:场追迹锯齿形光栅 3s"0SLS4 o[H{(f1% \6;=$f/?t
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