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光学测量>显微 p`qgrI` ef4 i:. 任务/系统描述 S_H+WfIHV' m8[j #=h
G3T]`Atf 5b7RYV 亮点 Ny/MJ#Lq z
F;K
iy.\=Cs$N (TM,V!G+U~ 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 A04U /; 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 v3>UV8c' 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 GM<9p_
B jPkn[W#
6 说明:光源 <#4h}_xA% >H,*H;6 GQ
;;bcj& YS_;OFsd 说明:透镜系统 &K,i
f Tlr v={ 1o>xEWt:0K 6Kz,{F@ 说明:样品结构 lp8v0e4 '|=;^Z7.K 9lE_nc X@FN|Rdh 说明:探测器 Ax}JLPz5' \fe]c : Flb&B1 aw> #P 结果:3D光线追迹 /Z4et'Lo gBD]}vo-
c:.eGH_f *Pg2c(Vg 结果:场追迹矩形光栅 =2x^nW oP.7/*p \l3h0R N{>n$v}
结果:场追迹锯齿形光栅 wz8yD8M FVBYo%Ap fF kj+
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