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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 nD7|8,'  
    ]JOephX2R  
    4L8z>9D  
                                                             -x{dc7y2  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 #@9)h  
                                                                 EE+`i%  
    建模任务                                                         M'kVL0p?vN  
    v @:~mwy  
     FY$fV"s  
    6yY.!HRkr  
    光栅元件   m23+kj)+VY  
    h@=7R  
                                                             ]1m"V;vZ  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: g%ubvu2t]  
    • FMM/RCWA MR`:5e  
    • Diffractive Lens Component wMGk!N  
                                                                 7_-w_"X  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       VZ$=6CavH  
    7W"/ N#G  
                                                         [r(Qs|  
    #O"  
    正弦光栅-传输相位形态     BT]ua]T+  
    |'tW=  
                                                         g?B3!,!9  
    rz6uDJ"  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ['z!{Ez  
    %%>_B2vc  
     wJ gX/W  
    } ^i b  
    正弦光栅-衍射效率  9:5:`' b  
    SyO79e*t  
                                                                 Ir5WN_EaS  
    ~4\,&HH  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       3\AM=`  
    TI=h_%mO  
           D==Mb~  
    3o*FPO7?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   P-CB;\  
                                           2edBQYWd  
    RsW9:*R  
                                                                 BYi)j6"  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) p~2UUm V  
    ;#TaZN  
                                                               $+cAg >  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         q]\X~ 9#  
    (DDyK[t+VX  
    HG%Z "d  
     e*C6uz9N  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         GMW,*if8p  
    S_v(S^x6  
     /- 4$7qd  
                                                                 o%[U  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         &.Q8Mi aT  
    >`'O7.R  
     g%xGOA  
                                                                 :m'+tGs  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         B&Y_2)v  
    \'Z<P,8~  
     -Xz&}QA  
     
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