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摘要 z+^9)wg9 /!60oV4p0
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n-1 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 y!|4]/G]?t t7*F, 建模任务 ET%F+ FS*J8)
iEbW[sX[4 UgOhx-8 光栅元件 vorb? iVf> X<f4X"y
'}q/;}ih 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: mt[ #=Yba • FMM/RCWA pezfB{x? • Diffractive Lens Component t&IWKu# Vw`%|x"Xz 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) yvnvI y g3Ul'QJ
>xXq:4l>} Qz$Wp* 正弦光栅-传输相位形态 "S>VqvH3 Eks<O
0;%\L :,O 7>EMr}f C 正弦光栅-传输相位形态 ]jR-<l8I- ojVN-*5
w*u.z(:a` !|cM<}TF, 正弦光栅-衍射效率 ${97G# r>rL[`p(2
V2g"5nYT =r&i`L{] 正弦光栅-效率vs. 周期 yz)Nco] &0{&4,
~W3t(\B' Mv:\T%] 正弦光栅—选定周期的相位形态 V-"#Kf9 c#@L~< ft!D2M CYM>4C~>JW 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) v(,YqT>q@U -:Q"aeC5
q^L"@Q5; 闪耀光栅-传输相位形态 tw]
l }t1 q5@QU -@~4: o WJ\,Y} J 闪耀光栅-衍射效率 w!}kcn< f^Q)lIv
5{-54mwo X#X/P 闪耀光栅-效率vs.周期 #=Whh
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WM 闪耀光栅-选定周期相位形态 %B\VY+ Z,>owoP4
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