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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 0Ld@H)  
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    AZ{^o4<q  
                                                             XB[<;*Iz  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 M1%Dg'}G  
                                                                 ZoB {x*IH  
    建模任务                                                          ]@M5&  
    8+Bu+|c%f  
     B7Tk4q\;Q  
    GAc{l=vT'  
    光栅元件   $:of=WTY(  
    MJ\eh>v&  
                                                             _0 m\[t.  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: s-ZI ^I2\  
    • FMM/RCWA o#[ KS:Y  
    • Diffractive Lens Component (S^8UV  
                                                                 @K:N,@yq  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       #YSF&*  
    ^bLRVp1  
                                                         p\ Lq}tk<  
    q-Qxbg[>e  
    正弦光栅-传输相位形态     [+Y{%U  
    zW8*EE+,  
                                                         Gc$gJnQio  
    g_Im;1$  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         :5yV.7  
    RJeSi`19T)  
     _xLHrT!y  
    Ap$y%6  
    正弦光栅-衍射效率 ++Ww88820  
     >Ng)k]G  
                                                                 OD=!&LM  
    m~'? /!!  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       R3X{:1{j  
    6q>+!kXh  
           y3<Y?M4  
    .O0O-VD+a  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5TUNX^AW  
                                           *x>3xQq&  
    RB?V7uX  
                                                                 %5\3Aw  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) X#w%>al  
    k6Cn"2q <  
                                                               T$= 4O9G  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         :|1.seLQ  
    7P7b8 ]  
    QjPj[c  
     jw ,izxia  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3CE[(   
    N:"C+ a(  
      oK 9'  
                                                                 [4J6 iF  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         3^=+gsc  
    l =IeJh  
     e &9F\e  
                                                                 OJ4SbI  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         4l8BQz}sb  
    V,ZY*f0  
     Ei({`^  
     
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