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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Rz*%(2Vz  
    spd>.Cm`  
    "mHSbG  
                                                             =;^2#UxXA&  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 '1/uf;OXIH  
                                                                 kAf2g  
    建模任务                                                         >qAQNX  
    F9-xp7 T  
     S%g` X   
    #Z (B4YO  
    光栅元件   k((_~<$2K  
    *.W ![%Be  
                                                             b.;F)(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: b~%(5r.  
    • FMM/RCWA zcP_-q]1  
    • Diffractive Lens Component V mKMj'  
                                                                 H-^>Co_  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       QTtcGU  
    W}a&L  
                                                         o}Dy\UfU  
    /m.6NVu7  
    正弦光栅-传输相位形态     Rf2;O<  
    G|IO~o0+  
                                                         *,@dt+H!y  
     h ej  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         |c dQJW  
    ^Shz[=fd  
     f{k2sU*uBE  
    V 7%rKK  
    正弦光栅-衍射效率 1i#M(u_  
    j`='SzVloW  
                                                                 `NyvJt^<  
    U]d{hY."  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       l;F3kA  
    YM/GSSq  
           J=| fxR  
    JX`+b  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   OAR#* ~q  
                                           IGOqV>;  
    :a[L-lr`e  
                                                                 3dQV5E.  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Jc(tV(z  
    !1w=_  
                                                               V!a\:%#^Y  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         $IUT5Gia`  
    .E"hsGH9h  
    %Nzg~ZPbmT  
     b P4R  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         aXhgzI5]  
    j#Bea ,  
     7M=`Z{=9  
                                                                 ]'EtLFv)  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q.g<gu]  
    [8(e`6xePb  
     Iyz};7yVI  
                                                                 <Gr{h>b  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K p ~x  
    Z Z\,iT  
     gj0gs  
     
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