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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 .LeF|EQU\@  
    eHF(,JI  
    <2o.,2?G  
                                                             N=O+X~  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 gTmUK{y'  
                                                                 +(QMy&DtS  
    建模任务                                                         1cHSgpoJ  
    zVc7q7E  
     J { GFb  
    SU_] C+  
    光栅元件   zJy 89ib'  
    v$.JmL0^J  
                                                             'y+bx?3Z  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ch)Ps2i  
    • FMM/RCWA M f%^\g.}  
    • Diffractive Lens Component 5Gw!9{ke  
                                                                 q/rHHuY}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       {E3<GeHw4  
    B>p0FQ.  
                                                         !SO$k%b}!  
    }<}`Q^Mlk  
    正弦光栅-传输相位形态     PtPGi^  
    Ul$X%  
                                                         = h<? /Krs  
    C%95~\Ds  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         0w'y#U)&8  
    {d?4;Kd  
     6'No4[F 4n  
    U!;aM*67  
    正弦光栅-衍射效率 7=QC+XSO  
    P$(iB.&  
                                                                 [F AOp@7W  
    `:bvuc(  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5uD#=/oV  
    L?D~~Jb  
           |`94Wj<  
    .J1Hg  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   X#Dhk6  
                                           {>UMw>T[  
    a' >$88tl  
                                                                 9 .&Or4>  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) G0 nH Z6  
    FkxhEat8  
                                                               R.2KYhp ,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          +,F= -  
    \MFWK#W  
    8x^H<y=O  
     LO$#DHPt  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         f_5R!;  
    N?mY|x\}wK  
     'Qs 3  
                                                                 =:n[{/O=  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ]/V Iff  
    UTK.tg  
     MMxoKL  
                                                                 kq1M <lk  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         m)[wZP*e  
    6ImV5^l  
     G|PIH#  
     
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