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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 0ro)e~_@*  
    wp$SO^?-  
    s*rtm  
                                                             y![h  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 OS,-dG(  
                                                                 \,~gA   
    建模任务                                                         _QCAV+K'  
    1w?X~VZAX  
     A*W QdY  
    (/PD;R$b  
    光栅元件   vVE^Y  
    O>H4hp  
                                                             n1$p esr  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: @@}A\wA-  
    • FMM/RCWA ;b(/PH!O  
    • Diffractive Lens Component :s*&_y  
                                                                 )TG\P,H9  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~bvx<:8*%  
    QD7>S(p  
                                                         6VRVk7"  
    MiN68x9  
    正弦光栅-传输相位形态     }K0.*+M  
    M1VRc[ RRo  
                                                         tWD*uA b  
    f'*HP%+Y  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         >pz/wTOi  
    ;sb0,2YyP  
     fFMG9]*  
    v^JyVf>  
    正弦光栅-衍射效率 !i{@B  
    wMei`svY  
                                                                 eF!c< Kcr  
    UI |D?z<  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ePB=aCZ  
    W&6ye  
            k:R9wo  
    rXvvJIbi  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Onby=Y o6  
                                           s|YY i~  
    $O7>E!uVD  
                                                                 {P(IA2J'S  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) H<dm;cU  
    mi i9eZ  
                                                               [JsQ/|=z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         =OTwP  
    ^25$=0  
    P !6r`d  
     ,c}Q;eYc3  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ZJ  u\  
    8%I4jL<  
     D6c4tA^EO  
                                                                 mbSJ}3c"  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         :@19,.L  
    %q(n'^#Z.y  
     %F1 Ce/  
                                                                 w9l)=[s=  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         xs+MvXTC  
    (T!Q  
     '9H]S Ew  
     
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