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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 A"S"La%"  
    IBNg2Y  
    Q+1ot,R  
                                                             437Wy+Q|e  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 {jD?obs  
                                                                 |V5BL<4  
    建模任务                                                         uUfw"*D  
    <~m qb=qA$  
     0'd@8]|H  
    5x@ U<  
    光栅元件   |&@q$d  
    ZSNbf|ldiE  
                                                             b=Nsz$[  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: CRo'r/G  
    • FMM/RCWA OD'~t,St  
    • Diffractive Lens Component /K!)}f( 6  
                                                                 bZ_&AfcB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /6rjGc  
    Q%O9DCi  
                                                         (`4&h%g  
    Z kw-a  
    正弦光栅-传输相位形态     =+X*$'<J  
     *wJ$U  
                                                         l]|&j`'O  
    D&m1yl@\J  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         qt OuA  
    .g/!u(iy  
     sA6HkB.  
    Kj?)]Z4  
    正弦光栅-衍射效率 #4|RaI|.  
    !$HuH6_[  
                                                                 q[/g3D\G  
    pXNhU88  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       w'}s'gGE  
    ` .`:~_OE  
           m:Rx<E E  
    08:K9zr  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   > X  AB#  
                                           TJP;!uX  
    |g7)A?2J~  
                                                                 1%M^MT%&  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Yaq0mef0  
    Z2{$FN  
                                                               2h5T$[fV  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         S ?t `/"O  
    w+rw<,u%  
    NHZMH!=4:n  
     BfCib]V9C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         6Hc25NuQZ  
    VFV8ik)  
     ZHen:  
                                                                 N+SA$wG  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         >`3 0 ib  
    :x q^T  
     /_fZ2$/  
                                                                 b<fN,U< k  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         @W+8z#xr'  
    EHe-wC  
     "~C \Z} ;  
     
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