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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 `UD,ne  
    ia#8 ^z  
    *Roqie  
                                                             90Bn}@t=Q  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 5HC5   
                                                                 f2iA5 rCV]  
    建模任务                                                         ){I!orQ  
    aoHAB<.C  
     Ud& '*,  
    oJ.5! Kg  
    光栅元件   ua!43Bp  
     SH6+'7  
                                                             G0Y]-*1  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: w| eVl{~p  
    • FMM/RCWA N;` jz(r  
    • Diffractive Lens Component >&YUV.mLY  
                                                                 Ay@/{RZz  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       br,xwc  
    {!&^VXZIT  
                                                         POI|#[-V  
    hw({>cH\  
    正弦光栅-传输相位形态     b6NGhkr'\  
    e'A 1%g)  
                                                         N c(f+8  
    =p2: qSV  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5p]V/<r  
    Aa+<4 R  
     {BY(zsl  
    l T#WM]  
    正弦光栅-衍射效率 i`}!<{k  
    7/zaf  
                                                                 Hxx]q+DAS  
    4^Og9}bm  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       K=1prv2  
    aTwBRm  
           /'a\$G"%6  
    Vg~10Q  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _>J`e7j+  
                                           ~gdnD4[G  
    vA2>&YDFX  
                                                                 =Eb$rc)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) M%Zh{  
    >dJ[1s]  
                                                               wGw<z[:f  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Q7]bUPDO  
    7J1f$5$m5  
    3 MCV?"0  
     f#McTC3C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         !l5@L\   
    twhT6wz"  
     @JPz|  
                                                                 ZypK''&oc  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         I9e3-2THfj  
    i&q_h>ZT g  
     OX7a72z  
                                                                 +4+c zfz  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         TBZhL  
    7 lSR  
     @RZbo@{~  
     
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