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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 nyPW6VQ0n  
    n:JG+1I  
    U5j0i]  
                                                             4Gsq)i17j  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 N| |s#  
                                                                 "IoY$!Hk  
    建模任务                                                         0Pg@%>yb~  
    ,.,Y{CP  
     wKy4Ic+RV  
    ?$4CgN-  
    光栅元件   ,>I_2mc  
    Ap`D{u/  
                                                             *G,r:Bnb  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OLDEB.@  
    • FMM/RCWA z9^_5la#  
    • Diffractive Lens Component TK#-;p_  
                                                                 4,ewp coC%  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       p;{w0uld"  
    #M8>)oc  
                                                         \V9);KAOj  
    4\2~wSr  
    正弦光栅-传输相位形态     .%mjE'  
    7x`4P|Uu  
                                                         H=5#cPI#(^  
    CIf""gL9  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         'Ie!%k^  
    J i:0J},m  
     8?k.4{?  
    8j!(*'J.  
    正弦光栅-衍射效率 "C [uz&  
    )jN fQ!?/  
                                                                 e irRAU  
    JLV?n,nF  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       2)>Ty4*  
    `jCq`-.  
           )1]LoEdm`  
    7.xJ:r|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   TWTRMc;z+  
                                           nB86oQ/S  
     tD}HL_  
                                                                 \( xQ'AQ-  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) $6\W8v  
    ^b(> Bg )T  
                                                               &8 4Izs/[  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         TZk.h8  
    Dv+:d4|"  
    0B~Q.tyP  
     =u]FKY  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         WjMP]ND#c  
    =6+j Po{F  
     +l_$}UN  
                                                                 9 TW  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @?"t&h  
    ' k[gxk|d2  
     a fhZM$  
                                                                 64qQ:D7C  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;^:$O6J7T~  
    9 8eS f  
     x+5y287#  
     
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