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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 z+^9)wg9  
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    Fz| r[  
                                                        
    n- 1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 y!|4]/G]?t  
                                                                 t7*F,  
    建模任务                                                         ET%F+  
    FS*J8)  
    iEbW[sX[ 4  
    UgOhx- 8  
    光栅元件   vorb?iVf>  
    X<f4X"y  
                                                        
    '}q/;}ih  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: mt[ #=Yba  
    • FMM/RCWA pezfB{x?  
    • Diffractive Lens Component t&IWKu#  
                                                                 Vw`%|x"Xz  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       yvnvIy  
    g3Ul'QJ  
                                                    
    >xXq:4l>}  
    Qz$Wp*  
    正弦光栅-传输相位形态     "S>VqvH3  
    Eks<O  
                                                    
    0;%\L:,O  
    7>EMr}f C  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ]jR-<l8I-  
    ojVN -*5  
    w*u.z(:a`  
    !|cM<}TF,  
    正弦光栅-衍射效率 ${97G#  
    r>rL[`p(2  
                                                            
    V2g"5nYT  
    =r&i`L{]  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       yz)Nco]  
    &0{&4,  
      
    ~W3t(\B'  
    Mv:\T%]  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   V-"#Kf9  
                                      
    c#@L~<  
    ft!D2M  
                                                                 CYM>4C~>JW  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) v(,YqT>q@U  
    -:Q"aeC5  
                                                          
    q^L"@Q5;  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         tw] l  
    }t1 q5@QU  
    -@~4:o  
    WJ\,Y} J  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         w!}kcn<  
    f^Q)lIv  
    5{-54mwo  
                                                                 X#X/P  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         #=Whh 9-d  
    *#GX~3A  
    ]=Wq&~  
                                                                 <B+ WM  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %B\VY+  
    Z,>owoP4  
    lEw!H^O4  
     
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