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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 &E-q(3-  
    9 ]|C$;kw@  
    2hb>6Z;r]K  
                                                             ,F=FM>o  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 W'v o?  
                                                                 2rM/kF >g  
    建模任务                                                         *tl;0<n  
    {7EpljH@  
     tl=e!  
    es\Fn#?O  
    光栅元件   zo1 fUsK?  
    t24.u+O  
                                                             )p{,5"0u  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: c']m5q39'  
    • FMM/RCWA -E.fo._L5  
    • Diffractive Lens Component ye4GHAm,p  
                                                                  wKbU}29c  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ziv*4  
    `F_R J.g*p  
                                                         lXutZ<S[  
    Dt'bbX'edw  
    正弦光栅-传输相位形态     D*g K,`  
    @CKMJ^#|  
                                                         $@~s O0q  
    cEGR?4z  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         N^'(`"J s  
    , Q)  
     e[db?f2!  
    9r 5(  
    正弦光栅-衍射效率 }|],UXk{xB  
    ~eXI}KhBw6  
                                                                 yL23 Nqe  
    Ys<z%  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       "!:)qVL^  
    X#ud_+6x  
           )k81  
    43*;"w=  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   cvjZ$Fcc%(  
                                           E*L5D4Kw  
    ksyQ_4^SO  
                                                                 96%N  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) VL$?vI'  
    )gk tI!  
                                                               !j9(%,PR  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         N({-&A.N  
    Sd\oL*lN  
    A $l  
     Rpxg 5  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ob9=/ R?i  
    ;7(vqm<V2~  
     )IKqO:@  
                                                                 UGP&&A#T-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ;ao <{i?  
    Q$Q:Jm53  
      K"Gea`I  
                                                                 dlMjy$/T  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         N"zl7.E  
    p@wtT"Y  
     ?8q4texf[  
     
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