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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 $~ pr+Ei  
     ~Y1"k]J  
    B=Xnv*e  
                                                             6&i[g  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 6b-  
                                                                 M \ :"~XW  
    建模任务                                                         VaD:  
    d[~au=b  
     0lLr[  
    .a 'ETNY:>  
    光栅元件   i;E9Za W  
    @/_XS4  
                                                             x(C]O,  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ]3gYuz|  
    • FMM/RCWA nG&w0de<>  
    • Diffractive Lens Component <wIp$F.  
                                                                 qg_>`Bv"a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       N&R '$w  
    Ig40#pA  
                                                         jD&}}:Dj  
    Ktg&G<%J0  
    正弦光栅-传输相位形态     D6C -x  
    9Q SUCN_  
                                                         nr 'YWW  
    y>)mSl@1y  
    正弦光栅-传输相位形态                                                          y)N.LS  
    Y-}hNZn"{  
     Q1N,^71  
    9*G L@_c  
    正弦光栅-衍射效率 pl1EJ <  
    Vp- n(Z  
                                                                 uAPLT~  
    (P]^8qc  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       : L6-{9$  
    )_x8?:lv  
           @&am!+z  
    1s^$oi}  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ^)eessZ  
                                           Gaw,1Ow!`2  
    3rXL0&3w%  
                                                                 1xFhhncf  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) P:zEx]Y%  
    .R<s<]  
                                                               PBP J/puW  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         EmBfiuX  
    Oy?iAQ+  
    >mGGJvTx  
     z- {"pI  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         O*+w_fox  
    gZ79u  
     IdC k  
                                                                 n WO~v{h3J  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         %r}KvJgd  
    ];wohW%  
     TZ[F u{gZ  
                                                                 &H p\("  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Wb}0-U{S'  
    *$WiJ3'(m  
     b`;b}ug  
     
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