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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 r"bV{v  
    Gzkvj:(V  
    z 8y.@<6  
                                                             n1PV/ Z  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ~tB#Q6`nB  
                                                                 716r/@y$6  
    建模任务                                                         H tAO9  
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    b<\aJb{2  
    光栅元件   X6G2$|  
    4"d'iY  
                                                             R@A"U[*  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 9*;OHoDh  
    • FMM/RCWA kJk6lPSqi7  
    • Diffractive Lens Component 9six]T  
                                                                 &b9bb{y_$K  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       $q 9dkt  
    .~7:o.BE`n  
                                                         {N'<_%cu  
    0+3{fD/  
    正弦光栅-传输相位形态     ?G<.W[3  
    :]uz0s`>  
                                                         YlJ_$Q[  
    Wo+^R%K' 4  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         kj/v$m  
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     6YF<GF{  
    0;Z] vl/|  
    正弦光栅-衍射效率 ,?(U4pzX  
    <RJ+f-  
                                                                 xFp?+a  
    &h'NC%"v  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,u^%[ejH  
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    wuKr 9W9Xa  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   \%Lj !\  
                                           3S{3AmKj?  
    Mt\.?V:  
                                                                 -fT}Nj\  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) w" ,ab j  
    1HBWOV7z.?  
                                                               DSL3+%KF#  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         SdNxSD$Q  
    Wp(Rw4j  
    {ug*  
     3"LT''  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         c_Jcy   
    K:54`UJ  
     $/"QYSF  
                                                                 {-1N@*K  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q]#j,}cN9  
    h.4FY<  
     3,)[Q?nKD  
                                                                 =?[:Nj636  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Y lhKP;  
    oq[r+E-]$@  
     !dOpLUh l  
     
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