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摘要 '7Te{^<FQ$ <6(u%t0k5
s?0r\ cc|: I9Z8]Q+2" 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 z2"2Xqy<U .@B\&U7 建模任务 /8Vh G|Wb pMX7Rl
DCwldkdJN m1+DeXR_g 光栅元件 .Ta$@sP h} jRgv
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:U r%.0 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: [=V8 • FMM/RCWA k U3]
eh\I • Diffractive Lens Component P6IhpB59 -O(.J'=8 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) WBC'~ h<@ F'SOl*v(s5
Dhef|E< kP[ Y 正弦光栅-传输相位形态 &,e@pv c3 Nb B`6@r
c&'T By VK$+Nm) 正弦光栅-传输相位形态 8dL(cC CrqWlO
:SYg)|s D, 3x:nK 正弦光栅-衍射效率 )ZiJl5l@ @Vb-BC,
cT.1oaAM0 .^Ek1fi. 正弦光栅-效率vs. 周期 :[AW L#NPt4Sz+
}1(F~6RH /B1NcRS 正弦光栅—选定周期的相位形态 M4')gG; F'`L~!F F;MFw2G BJ{mX>I( 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) wt)tLMEv 8+GlM+>4
K3\U'bRO 闪耀光栅-传输相位形态 [m('Y0fwO^ [>6:xGSe9X 501|Y6ptl r[~Km5 闪耀光栅-衍射效率 A\z[/3& RK lDAw0 C3
r0S"}<8O x2K.5q> 闪耀光栅-效率vs.周期 )8e_<^M "CLd_H*)c
+gT?{;3[i 1Rwk}wL 闪耀光栅-选定周期相位形态 bh_i*DJ] oYqlN6n,=6
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