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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 c(e>Rmh  
    //_H _ue$  
    8'HS$J;C  
                                                             wV"`Du7E;  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 P/girce0  
                                                                 {BT/P!  
    建模任务                                                         kJp~'\b  
    l6&\~Z(  
     UhpJGO  
    o]Rlivahm  
    光栅元件   "GZi eI D  
    z8'1R6nq  
                                                             m^G(qoZ]  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 9MYk5q.X:  
    • FMM/RCWA  7P7OTN  
    • Diffractive Lens Component !6T"J!F#  
                                                                 PmRvjSIG  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       1J4Pnl+hN  
    J6AHc"k.  
                                                         U8w_C\Q  
    <aJQV)]\  
    正弦光栅-传输相位形态     iU;e!\A  
    +t+<?M B  
                                                         q.VYPkEib  
    uv27Vos  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         AO$AT_s  
    a+E&{p V  
     &~ y)b`r  
    kkF)Tro\  
    正弦光栅-衍射效率 *[3xc*5F/A  
    {P]C>  
                                                                 }OL"38P  
    N8b\OTk2  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       xi=ApwNj  
    kg[%Q]]  
           6'r8.~O  
    t?W}=%M[  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   *h!fqT%9  
                                           qW0:q.   
    d9#Vq=H /  
                                                                 VThr]$2Y  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 2 }r=DAe0  
    4hL%J=0:  
                                                               h'):/}JPl  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         /x6p  
    6lSz/V;  
    4Z( #;9f  
     vxOqo)yO  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         xc:E>-  
    O?JJE8~']  
     ,50  
                                                                 $*fJKR_N  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         =?<WCR C*  
    ~&i4FuK  
     Az`Aa0h]7  
                                                                 T{k P9 4  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         MzJCiX^  
    G*fo9eu5$  
     GM%+yS}(P  
     
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