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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 V9Gk``F<RZ  
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    XTOZ]H*^  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ST[+k  
                                                                 t@O4 !mFH  
    建模任务                                                         ~8 w(M  
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    光栅元件   :xP$iEA`G  
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    P.;S6i n  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: {k}EWV  
    • FMM/RCWA 8xEOR!\!`k  
    • Diffractive Lens Component 5h4E>LB.B  
                                                                 -=A W. Z o  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       0fd\R_"d.  
    Jqt&TqX@s  
                                                    
    hIr$^%  
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    正弦光栅-传输相位形态     +.b@rU6H  
    9IRvbE~2  
                                                    
    !dW77kLTg  
    9C{\=?e;  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -MqWcB9&  
    k9^Vw+$m  
    U|%y `PZ  
    {vJ)!'Eh  
    正弦光栅-衍射效率 C;jV{sb9c  
    Q&9%XF uM  
                                                            
    iC{~~W6  
    XT|!XC!|  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ]%y~cq  
    hR$lX8  
      
    B !(t<W8cu  
    cc%O35o  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Y)@PGxjz  
                                      
    _0rHxh7}q  
    $pT%7jV}  
                                                                 QxGQF|  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) | 3`qT#p{  
    m7XJe[O  
                                                          
    $DfaW3bJ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Jb~-)n2  
    ')9%eBaeK  
    4R U1tWQ%  
    >q&Q4E0  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         lbES9o5  
    sJlX ]\RLQ  
    id-VoHd K  
                                                                 / -=(51}E  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         {1GW,T!#  
    s'^zudx  
    [hg|bpEG  
                                                                 2.2Z'$W  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ndm19M8Y|  
    '^l/e: (H3  
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