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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ;<yVJox  
    |UO&18Y7-  
    dGb]`*E  
                                                             RL;>1Q,H  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 `*1059   
                                                                 +J~q:b.  
    建模任务                                                         fDa$TbhjI  
    @$(/6]4p  
     #(`@D7S"  
    Y=6b oT  
    光栅元件   .7nr:P  
    s: .5S  
                                                             #VwA?$4g`  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: .2jG~_W[  
    • FMM/RCWA ^5l4D3@E  
    • Diffractive Lens Component 4IIXzMOa  
                                                                 bh8IF,@a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       U/JeEI%L  
    Z`l97$\  
                                                         AwKxt'()^  
    I2!0,1Q  
    正弦光栅-传输相位形态     5[Ryc[  
    Bkn- OG  
                                                         c9dH ^t  
    f]BG`rJX  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         tN5brf  
    cJ%u&2J_  
     1MV\ ^l_  
    kd9GHN;7  
    正弦光栅-衍射效率 "$Wi SR  
    jaAv_=93f  
                                                                 !8|]R  
    2wWL]`(E  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       G~{xTpL  
    l.i"Z pik  
           `O5kI#m)L*  
    }[u9vZL  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   s q_N!  
                                           0 mWfR8h0  
    N>OF tP  
                                                                 H7e/6t<x  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) sBuVm<H  
    F*QD\sG:  
                                                               sX3Vr&r  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         $ ;/Ny)"  
    &/J[PdSb$  
    #;RP ?s  
     @NXGVmY1}  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         -K`0`n}  
     -> -  
     %>uGzQ61  
                                                                 =L$};ko  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         #[*e$C  
    #ZIV>(Q\H  
     N1I1!!$K;%  
                                                                 kRgyvA,*;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         `5`Pv'`  
    :&dY1.<N+  
     [?BmW {*u.  
     
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