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摘要 V9Gk``F<RZ
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r(::3TF%#q XTOZ]H*^ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ST[+k t@O4!mFH 建模任务 ~8
w(M Pqm)OZE?
}.R].4gT `bF]O" 光栅元件 :xP$iEA`G j |tu|Q
P.;S6i
n 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: {k}EWV • FMM/RCWA 8xEOR!\!`k • Diffractive Lens Component 5h4E>LB.B -=A W. Zo 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 0fd\R_"d. Jqt&TqX@s
hIr$^% njy^<7; 正弦光栅-传输相位形态 +.b@rU6H 9IRvbE~2
!dW77kLTg 9C{\=?e; 正弦光栅-传输相位形态 -MqWcB9& k9^Vw+$m
U|%y`PZ {vJ)!'Eh 正弦光栅-衍射效率 C;jV{sb9c Q&9%XF
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iC{~~W6 XT|!XC!| 正弦光栅-效率vs. 周期 ]%y~cq hR$lX8
B!(t<W8cu cc%O35o 正弦光栅—选定周期的相位形态 Y)@PGxjz _0rHxh7}q $pT%7jV} QxGQF| 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) |
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$DfaW3bJ 闪耀光栅-传输相位形态 Jb~ -)n2 ')9%eBaeK 4R U1tWQ% >q&Q4E0 闪耀光栅-衍射效率 lbES9o5 sJlX]\RLQ
id-VoHdK / -=(51}E 闪耀光栅-效率vs.周期 {1GW,T!# s'^zudx
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