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摘要 c~c3; 6bqJM#y@
SHwl^qVk[ mM}|x~\R 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 9Z#37) L.|GC7$0 建模任务 P,wFib^1 Ke,-8e#Q
"~FXmKcX -'YX2!IU, 光栅元件 Ppx* GWP"i77y0s
%\-+SeC 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: A.<X78!^ • FMM/RCWA ',O@0L]L • Diffractive Lens Component Mzb_o2^( d2(eX\56Z 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ~oaVH.[e= .h*&$c/l
/M'b137 g%\e80~1 ( 正弦光栅-传输相位形态 8zpK;+ iPkG=*Ip(%
sRoZvp5 TyK;
q{ 正弦光栅-传输相位形态 ~I'Z=Wo 06=eA0JI
R6M@pO 0+S:2i/G 正弦光栅-衍射效率 ,U<Ku*}B K1eoZ8=!
WxXVL" mCq*@1Lp9 正弦光栅-效率vs. 周期 33u7 c 9ghR0WM
C-2n2OM. N Z.aI{ 正弦光栅—选定周期的相位形态 neZ_TT/3K m7 !l3W2 s"Kp+tTWj #b8/gRfS 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %Z}dY~: ZW\h,8%
zZE?G:isR 闪耀光栅-传输相位形态 c=|
a \\ 1hMk\ -3S r@n% rP3)TeG6 闪耀光栅-衍射效率 RF6|zCWuI c=Z#7?k=Uz
1}'Jbj"/ &7<~Q\XZbI 闪耀光栅-效率vs.周期 U'#{v7u :m+:%keK
54 8@._-S vJcvyz#%1 闪耀光栅-选定周期相位形态 5aWKyXBIx 8 zY)0
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