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摘要 $~
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B=Xnv*e 6&i[g 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 6b- M\:"~XW 建模任务 VaD: d[~au=b
0lLr[ .a 'ETNY:> 光栅元件 i;E9ZaW @/_XS4
x(C]O, 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ]3gYuz| • FMM/RCWA nG&w0de<> • Diffractive Lens Component <wIp$F. qg_>`Bv"a 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) N&R
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jD&}}:Dj Ktg&G<%J0 正弦光栅-传输相位形态 D6C-x 9Q
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n r'YWW y>)mSl@1y 正弦光栅-传输相位形态
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Q1N,^71 9*GL@_c 正弦光栅-衍射效率 pl1EJ < Vp- n(Z
uAPLT~ (P]^8qc 正弦光栅-效率vs. 周期 : L6-{9$ )_x8?:lv
@&am!+z 1s^$oi} 正弦光栅—选定周期的相位形态 ^)eessZ Gaw,1Ow!`2 3rXL0&3w% 1xFhhncf 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) P:zEx]Y% .R<s<]
PBPJ/puW 闪耀光栅-传输相位形态 EmBfiuX Oy?iAQ+ >mGGJvTx z-{"pI 闪耀光栅-衍射效率 O*+w_fox gZ79u
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WO~v{h3J 闪耀光栅-效率vs.周期 %r}KvJgd ];wohW%
TZ[Fu{gZ &Hp\(" 闪耀光栅-选定周期相位形态 Wb}0-U{S' *$WiJ3'(m
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