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摘要 87nsWBe U9AtC.IG!
&J=x[{R 98WJ"f_ # 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 B^1 Io9 wJF$<f7P 建模任务 |nO}YU\E q{.~=~
taOsC!Bp 3lNw*M|") 光栅元件 Os1y8ui 5?|PC.
zdDJcdbGd1 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: K9Pw10g' • FMM/RCWA g/,O51f' • Diffractive Lens Component .]Z,O>N ~#[ ZuMO? 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) q}5&B=2pM #60<$HO:Z
Xgm9>/y o6;VrpaNi 正弦光栅-传输相位形态 &nZ.$UK< )^'wcBod,
z9KsSlS ^ 0 .p $q 正弦光栅-传输相位形态 iAWoKW FkT% -I
6_a.`ehtj< %u|qAF2uS 正弦光栅-衍射效率 B6vmBmN d_Vwjv&@/"
^A$~8?f c[0$8F> 正弦光栅-效率vs. 周期 v]27+/a$c
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WJL,L[XC y/2U:H 正弦光栅—选定周期的相位形态 Afa{f}st `P4qEsZE>` k
.l,>s`! =U".L 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Lp*T=]C] ?0Ca-T Rz
V1;Qt-i 闪耀光栅-传输相位形态 jW",'1h<n %jM|*^\% 73(T+6` P-`^I`r 闪耀光栅-衍射效率 HwSPOII|8K ikRIL2Y
w }2|Do$5 AjANuyUaP 闪耀光栅-效率vs.周期 {UZli[W1 hOMFDfhU
C 127he :7>Si% 闪耀光栅-选定周期相位形态 c)E[K-u |:r/K
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