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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 KY4d+~2  
    8ivRp<9  
    &mh Ln4^  
                                                             |7rR99  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 b%Wd<N2  
                                                                 9 '2=  
    建模任务                                                         VDB$"T9#  
    kRmj"9oA  
     uew0R;+oa  
    Dz[566UD  
    光栅元件   :fxWz%t  
    -1Djo:y  
                                                             "#*Nnt  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^F>4~68d  
    • FMM/RCWA |n+ #1_t%  
    • Diffractive Lens Component LWD.  
                                                                 fph-v-cl  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       FQ+8J7  
    *Y8XP8u/  
                                                         ( FM4 ^#6  
    ,/~[S  
    正弦光栅-传输相位形态     {UP'tXah  
    zLh Fbyn(  
                                                         Oc7 >S.1  
    -Bj.hx*  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ;xL67e%?  
    Uf# PoQ!y  
     hO#HvW  
    ]x1p!TSU  
    正弦光栅-衍射效率 v#zPH5xo  
    a IQOs  
                                                                 ?p(kh^z  
    d&hD[v  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       f7Yz>To  
    -<6v:Z  
           !&W|myN^  
    3a'q`.L  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5!~!j "q  
                                           F@9Y\. ,  
    ]5N zK=2{  
                                                                 9J?W '8s5  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 26M~<Ic  
    "r@G@pe  
                                                               rw&y,%2  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         (s0 88O  
    \4aKLr  
    ( ]OFS;%  
     )i @1X H"D  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         9[kX/#~W*  
    eO'xkm  
     J2'K?|,m  
                                                                 tR<L`?4  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         L%f;J/  
    b7!UZu]IEv  
     y5_XHi@u~o  
                                                                 [g+y_@9s  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         <9`?Z-lJP  
    lcCJ?!lsSW  
     ^T{8uJ'kn  
     
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