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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 O,{6*[)@  
    % L$bf#  
    _<n~n]%  
                                                             vYwYQG  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 c69C  
                                                                 RIWxs Zt  
    建模任务                                                         SD"FErJ  
    @Q)OGjaq  
     dI.WK@W'o  
    jl4rbzse  
    光栅元件   Si2k"<5 U  
    hO\<%0F  
                                                             (5$!MUS~9  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *'Sd/%8{  
    • FMM/RCWA [L3=x;U  
    • Diffractive Lens Component p|X"@kuseO  
                                                                 x[FJgI'r  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       fx41,0;gZq  
    %P;lv*v.  
                                                         \pa"%c)  
    b6 cBg  
    正弦光栅-传输相位形态     27eooY1  
    /hr7NT{e%v  
                                                         e(]!GA  
    ],@rS9K  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         'F+C4QAq  
    x,=&JtKVc  
     so,t   
    F&!6jv  
    正弦光栅-衍射效率 ~8q)^vm>f?  
    %0S3V[4I  
                                                                 !a{^=#qq&I  
    v,FU^f-'  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       :(/~:^!  
    ISYXH9V  
           [;n9:Qxf  
    VACQ+  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   lp.ldajN  
                                           k0OYJ/  
    }~YA5^VQ$  
                                                                 hi_NOx  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) k$4y9{  
    )X1{  
                                                               Y z<3JRw  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Y xr>"KH6a  
    8r*E-akuyr  
    T;Lkaxsn  
     \ ZgE  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ;"a=gr  
    I,E?h?6Y  
     QE^$=\l0  
                                                                 U\g/2dM  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         R[zpD%CI  
    xs{3pkTYD  
     ()Y~Q(5ji  
                                                                 NxkGOAOE  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         `LrHKb aP  
    ahJ`T*)HY  
     L ^r#o-H<  
     
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