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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 D./3,z  
    j<C p&}X  
    =>,X)+O  
                                                             }ec3qZ@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 d2[R{eNX=  
                                                                 ,1|0]:  
    建模任务                                                         u<K{=94!e  
    h^ =9R6im  
     &VfMv'%x  
    lko k2  
    光栅元件   4&+lc*  
    T@\%h8@~]  
                                                             gWpG-RL0  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: U# 7K^(E9  
    • FMM/RCWA d+158qQOh]  
    • Diffractive Lens Component %hH@< <b(s  
                                                                 <A@qN95m  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ?-D'xqc  
    BhCOT+i;c  
                                                         );oE^3]f  
    [3fmhc  
    正弦光栅-传输相位形态     }D7} %P]  
    (|U|>@  
                                                         z< ,rE  
    j]bNOC2.L  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         4+'d">+|  
    w-?|6I}T  
     |]'0z0>  
     '  
    正弦光栅-衍射效率 o%.0@W  
    z`KP }-  
                                                                 A~%h*nZc%I  
    APM!xX=N  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ?QG?F9?  
    q_[V9  
           S^*ME*DDz  
    [ %:%C]4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   DZ5QC aA  
                                           d<+@cf_9  
    `=JGlN7  
                                                                 (4oO8 aBB  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) lz88//@gZ  
    bFtzwa5Gc  
                                                               YCnKX<Wv  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         P2>Y0"bY  
    atmTI`i  
    do&0m[x%  
     ?2i\E RG?  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         9G=HG={  
    x3]y*6  
     T f;:C]  
                                                                 /Ym!%11`  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         FvaelB  
    fZF.eRP '  
     TU}. /b@F  
                                                                 H!vX#  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         S1D;Xv@  
    $mLiEsJ  
     L qdz qq  
     
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