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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 V^L;Nw5h  
    zCvR/  
    >R!^aJ  
                                                             Q1eiU Y6  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 m U7Ad"  
                                                                 f.+e  
    建模任务                                                         N@)4H2_u \  
    eMz,DYa/G  
     9zO;sg;3  
    z8z U3?  
    光栅元件    ]g?G 0m  
    P!bm$h*3?  
                                                             (:T~*7/"  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: o ]Vx6  
    • FMM/RCWA ,  PN?_N  
    • Diffractive Lens Component mg >oB/,'Z  
                                                                 I8^z\ef&  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       u> >t"w  
    $8i t&/JP,  
                                                         -QS_bQG%  
    &5d>jEaB}  
    正弦光栅-传输相位形态     U?|s/U  
    >Ckb9A  
                                                         toIljca  
    =:a 3cr~  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         2? !b!  
    ;yk@`<  
     b:%>T PT  
    nh9K(  
    正弦光栅-衍射效率 C5sV-UMR  
    Ld`~^<B  
                                                                 TvdmgVNP  
    @RaMO#  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       pbm4C0W}  
    'w9tZO\2  
           c yN_Sg  
    o~GhV4vq  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7?hC t  
                                           PVtQ&m$y  
    o)-Qd3d%S  
                                                                 ^jCkM29eu  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ]i$CE|~  
    <<;j=Yy({`  
                                                               vkR"A\:  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         N+}yw4lb  
    m&ZdtB|  
    vB.LbYyF  
     t<: XY  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         $ \P!P.  
    rqa;MPl  
     msoE8YK&tg  
                                                                 45-pJf8F  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,[ Ytl  
    6s|C:1](b  
     i,bFe&7J  
                                                                 pCg0xbc`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         E|^a7-}|  
    e94csTh=  
     o^AK@\e:^Z  
     
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