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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 xpxm9ySwu  
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    +{I\r|  
                                                             $>UzXhf}\  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 6)$_2G%Zq  
                                                                 %FU[ j^  
    建模任务                                                         VJ"3G;;  
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    光栅元件   ts]7 + 6V  
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                                                             {<2Zb N?  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: r Lh h  
    • FMM/RCWA rA`\we)  
    • Diffractive Lens Component "Pc,+>vh  
                                                                 xD=D *W  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       agYK aM1N  
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                                                         ASvPr*q/  
    IMZKlU3  
    正弦光栅-传输相位形态     @_Zx'mTI  
    &J b.OCf  
                                                         ~30Wb9eL  
    zEW:Xe)  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         M\&~Dmd  
    )rj mJ  
     CnH R&`  
    }WbN)  
    正弦光栅-衍射效率 l.x }I"tf  
    FQFENq''B  
                                                                 $<4Ar*i  
    6dL>Rzl$Dk  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       L\ %_<2  
    ~@8d[Tb  
           4AYc 8Z#'  
    {nefS\#{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   m_2P{  
                                           dYd~9  
    fn OkH  
                                                                 =!^iiHF  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 1Ol]^ 'y7)  
    s%oAsQ_y  
                                                               GZEonCk[&  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         h'~- K`  
    *fSM'q;  
    ~8(X@~Tn*  
     N o(f0g.  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         pT@!O}'$  
    A#X.c=  
     $>=Nb~t!/  
                                                                 es[5B* 5  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         zD^f%p ["#  
    N[bN"'U/1  
     dyzw J70K  
                                                                 41o!2(e$  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         $ bNe0  
    1bg@[YN!;  
     tR* W-%  
     
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