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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 _G'.VSGH  
    m'429E]\S  
    G m.v-T$  
                                                        
    BJlF@F#  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 0>.'w\,87B  
                                                                 f Z\Ev%F  
    建模任务                                                         %7V?7BE  
    #UGbSOoCtn  
    I s88+,O  
    Z"E+ TX  
    光栅元件   ;l?>+m@H  
    St&XG>nWS  
                                                        
    u,'c:RMV  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: !TG"AW  
    • FMM/RCWA z2,rnm)Q  
    • Diffractive Lens Component wePMBL1P*  
                                                                 :!aFfb["  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       l sUQ7%f  
    [i&tE.7  
                                                    
    i&?~QQP`  
    L(X:=) !K0  
    正弦光栅-传输相位形态     SZyPl9.b  
    Ie+z"&0  
                                                    
    V#sANi?mpo  
    -pLb%f0?  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         geT<vh Z6  
    1zl@$ Nt  
    $Y ]*v)}X  
    <Ojf&C^Z  
    正弦光栅-衍射效率 .0s/O  
    'rd{fe_g!  
                                                            
    | pJ.73  
    .>H7i`1D`  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       >0~y "~M  
    5@Rf]'1B0  
      
    a:P% r  
    &Cdd  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7Qq>?H -  
                                      
    x#pT B.  
    =I*"vwc?  
                                                                 w+ _'BU1#  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ..n-&(c32  
    xx41Qw>\W  
                                                          
    >\VZ9bP<   
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         WlG/7$  
    !q$IB?8   
    m~X:KwK4  
    R=PjLH&)  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         w`i3B@w  
    \d v9:X$  
    TNiF l hq  
                                                                 ^8We}bs-c  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         (\SxG\`  
    o<%Sr*  
    ,wnF]K 2D0  
                                                                 Ee4oTU5Mb  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         =FdS'<GM  
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    a*?? !  
     
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