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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 G|.6%-  
    - `{T?  
    BI+x6S>d  
                                                             n<e1=L  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ?ZP@H _w6}  
                                                                 "X \Yp_g  
    建模任务                                                         9NeHN@D)  
    '9@AhiNV  
     >9<YQ(  
    xv~Sk2Z+d  
    光栅元件   =B0AG9Fz  
    uP$C2glyz  
                                                             K@tELYb  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *=X61`0  
    • FMM/RCWA REWW(.3o  
    • Diffractive Lens Component @ )Nw>/; o  
                                                                 @K\ hgaQ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       "P yG;N!W  
    G.]'pn  
                                                         mjKu\7F  
    PwU<RKAE  
    正弦光栅-传输相位形态     >f70-D28  
    5QP`2I_n  
                                                         ko ~D;M:  
    ~(\ .j=x  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         _o? I=UN2:  
    epgAfx-_OH  
     6'Q*SO;1gh  
    ,0f^>3&n>e  
    正弦光栅-衍射效率 sGG q~7  
    a%r(F  
                                                                 @6b4YV h  
    jEn 9T  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       mcTC'. 9  
    lJdrrR)wg  
           '0v]?mM  
    $kccM& B  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   T&'LQZM8  
                                           |f1RhB  
    hWi2S!*Y  
                                                                 ,*8)aZ1 k  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ndu$N$7+  
    |k#EYf#Y  
                                                               B]I*ymc#  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         |? rO  
    \%_sL#?  
    hISYtNWjd"  
     /0b7"Kr  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Q w)U  
    s9SUj^  
     +V;d^&S  
                                                                 oiOu169]  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vI]V@i l  
    }U?:al/m  
     Wr`<bLq1vs  
                                                                 +mN8uU~(kx  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         F`>qg2wO  
    ~( :$c3\  
     >0?ph<h1[q  
     
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