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摘要 K4h-4Qbn Qwp\)jVi
Nf/hr%jL =:CGl 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ^cKv JSY Q5`+eQ?_\ 建模任务 0~@L%~ |2t7G9[n
z1{E:~f xy-$v 光栅元件 {LMS~nx =hOj8;2
N>cp>&jV 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <manv8*6 • FMM/RCWA ~q'w),bE"Q • Diffractive Lens Component 2heWE laD.or 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) cW~6@&zp T ?<'=
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Nf!j 正弦光栅-传输相位形态 :Z*02JwK D
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YQB]t=Ha w ufKb.4` 正弦光栅-传输相位形态 ,,wyydG 1=/MT#d^?
sa0^1$(< =A6u= 正弦光栅-衍射效率 pT_e;,KW
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KOAz-h@6 )z*$`?)k 正弦光栅-效率vs. 周期 X"qbB4(I S8W_$=4
$S)e"Po~5 um_M}t{ 正弦光栅—选定周期的相位形态 v @I^:I =aCIaL&9Y [V #&sAe yw3U"/yw 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 3MBz ]Xkc0E1
No92Y^~/ 闪耀光栅-传输相位形态 WKYA9BaR \.{pZMM 9>$%F;JP44 9 (FcA5Y 闪耀光栅-衍射效率 %.atWX`b A0N ;VYv
B"E (Y M Jk6/i;4| 闪耀光栅-效率vs.周期 1WA""yb ;uWIl
K~hlwjrt (m =u;L"o 闪耀光栅-选定周期相位形态 <4A(Z$ZX) ]zM90$6
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