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摘要 cf\&No?-p onib x^Fcd
8+ hhdy*b F)7j@h^ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Cg^:jd !?b/-~o7S 建模任务 Cdmy.gx^ {"t5\U6cKM
8gAu7\p} %mu>-h ac 光栅元件 hJLT!33: 9(Jy0]E~
W"t"X ~T3 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,Y-S( • FMM/RCWA (gU2"{:]J • Diffractive Lens Component &r:=KT3 %{"dP%|w4} 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) {[tZ.1.w lC4PKmno
tpGCrn2w> ]=Pu\eE 正弦光栅-传输相位形态 wV>c" J ]Zk}ZG>6
0MrN:M2B #Wk5E2t 正弦光栅-传输相位形态 a
ea0+,; x0ne8NDP
h$/JGm5uDb USFg_sO 正弦光栅-衍射效率 JnHNkCaU rs_h}+6"s
A2BRbwr> #Cx%OIi[f 正弦光栅-效率vs. 周期 ?BsH{QRYQ K~3Ebr
?;RD u[eD =f `=@] 正弦光栅—选定周期的相位形态 TzY*; WUY,. 8 `M0YAiG *IqVY& 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) & g$rrpTzv 7 Kjj?~RA
y]^#$dK(z 闪耀光栅-传输相位形态 sUV>@UMnu LuL$v+` Ro~fvL~Ps y@aKNWy}$ 闪耀光栅-衍射效率 `)2[ST ll2Vk*xs
8W$L:{ez K"^cq~ 闪耀光栅-效率vs.周期 A_i zSzC1 X|Dpt2A=
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