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摘要 eUyQS I4A abq$OI
8\BCC1K H}OOkzwrA 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 '[ZRWwhr
yB&+2 建模任务 QeYO)sc` y;+5cn C
w !N;Y0 MX%D%}N 光栅元件 5YlY=J qYHAXc}$
&^C<J 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: NzmVQ-4 • FMM/RCWA nwk66o:| • Diffractive Lens Component y`?{2#1H Hnv{sND[ 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 18|i{fE; "x.|'
c$)Y$@D 6t0!a@t 正弦光栅-传输相位形态 }E 5oa\1u sE4=2p`x
gWo `i W|K"0ab 正弦光栅-传输相位形态 h 7feZ_ aI$D
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j +j2_\ o#KGENd 正弦光栅-衍射效率 /P*mF^Y >^#OtFHuT)
ceakTAB[ -9XB.)\# 正弦光栅-效率vs. 周期 sp4J%2b xkIRI1*!
`mro2A m>C}T 正弦光栅—选定周期的相位形态 $]4>;gTL' 4J=6A4O5Z PiD%PBmUl 'iM;e K 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <#U9ih
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]qsLS 闪耀光栅-衍射效率 2IgTB|2 RbUhLcG5
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