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摘要 G_6!w// I =nvL
.$ 5*v oNRp 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 qz|xow/ns@ L7s
_3\ 建模任务 _&PF (/w @;>Xy!G
9D51@b6k iayxN5, 光栅元件 \"$jj<gc Vet<,;Te
k]yv#Pa 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: (0zYS_mA • FMM/RCWA &F|Wk,y • Diffractive Lens Component pe-%`1iC0> fx/If 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ^-7-jZ@jz l7uEUMV
>~@ABLp6 TV(%e4U= 正弦光栅-传输相位形态 u1/q8'RW ".
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(t"rzH WmZ,c_ 正弦光栅-传输相位形态 }xytV5a^ o.>Yj)U
PsI{y&. W29GM -,K 正弦光栅-衍射效率 M[KYt"v bE2{^5iG
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)f$l 正弦光栅-效率vs. 周期 ()yOK$" V-zF'KI[
r }Nq"s< P!~B07y 正弦光栅—选定周期的相位形态 3E:+DF-Z\ vjYG>YhV <W88;d33r= u&$1XZ!es 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) n_-k <3 /V!gF+L
scR+F'M 闪耀光栅-传输相位形态 .;NoKO7) X*rB`M7, vz'<i. Yv4 u
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闪耀光栅-衍射效率 rOXh?r [300F=R
t[x[X4 LrnE6U9 闪耀光栅-效率vs.周期 a8r+G]Z W^dRA xVX
'pl){aL`@u }t5pz[zl 闪耀光栅-选定周期相位形态 *wK7qS~VB2 >s"kL^
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