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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 cf\&No?-p  
    onib x^Fcd  
    8+ hhdy*b  
                                                        
    F )7j@h^  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Cg^:jd  
                                                                 !?b/-~o7S  
    建模任务                                                         Cdmy.gx^  
    {"t5\U6cKM  
    8gAu7\p}  
    %mu>-hac  
    光栅元件   hJLT!33:  
    9(Jy0]E~  
                                                        
    W"t"X ~T3  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:  ,Y-S(  
    • FMM/RCWA (gU2"{:]J  
    • Diffractive Lens Component &r:=KT3  
                                                                 %{"dP%|w4}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       {[tZ.1.w  
    lC4PKm no  
                                                    
    tpGCrn2w>  
    ]=Pu\eE  
    正弦光栅-传输相位形态     wV>c" J  
    ]Zk}ZG>6  
                                                    
    0MrN:M2B  
    #Wk5E2t  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         a ea0+,;  
    x0ne8NDP  
    h$/JGm5uDb  
    USFg_sO  
    正弦光栅-衍射效率 JnHNkCaU  
    rs_h}+6"s  
                                                            
    A2 BRbwr>  
    #C x%OIi[f  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ?BsH{Q RYQ  
    K~3Ebr  
      
    ?;RD u[eD  
    =f `=@]  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   TzY *;  
                                      
    WUY,. 8  
    `M0YAiG  
                                                                 *IqVY&  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) & g$rrpTzv  
    7 Kjj?~RA  
                                                          
    y]^#$dK(z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         sUV>@UMnu  
    LuL$v+`  
    Ro~fvL~Ps  
    y@aKNWy}$  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         `)2[ST  
    ll2Vk*xs  
    8W$L:{ez  
                                                                 K"^cq~   
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A _i zSzC1  
    X|Dpt2A=  
    fp tIc#4  
                                                                 qy&\Xgn;GA  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         QoWR@u6a  
    2`E! |X  
    `0z/BCNB  
     
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