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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 F +Dke>j  
    E gD$A!6N8  
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                                                             !+V."*]l  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 6'[gd  
                                                                 r"&uW !~0  
    建模任务                                                         Z(Z$>P&4  
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     yE_T#FN  
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    光栅元件   Q u_=K_W  
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                                                             9cXL4  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: wvcj*{7[  
    • FMM/RCWA #\ l#f8(l  
    • Diffractive Lens Component dh-?_|"  
                                                                 cES8%UC^i  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       B".3NQ  
    7:'5q]9  
                                                         S|  
    @ QfbIP9  
    正弦光栅-传输相位形态     9yYNX;C  
    FG5YZrONx  
                                                         KSve_CBOh  
    1deK}5'  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         iit 5IV  
    XYze*8xUb  
     R q .2  
    9|l6.$Me/  
    正弦光栅-衍射效率 RH^; M-'  
    08_<G`r  
                                                                 Mt*eC)~ Yx  
    x }.&?m  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       *]>~lO1  
    (gEz<}Av.  
           },%, v2}  
    Ij?Qs{V  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   1B`JvNtd  
                                           \F9HsR6  
    |[iEi  
                                                                 q rF:=?`E  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) rI'kZ0&  
    wpf  
                                                               Eyh(257  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         iUq{c+h  
    Z|BOuB^   
    3^`.bm4 ^  
     e/Y& d9` I  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         F> b<t.yV  
    yHs'E4V`$  
     1>)uI@?Rb  
                                                                 M5`wfF,j  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vpP8'f.  
    7!A3PDAe  
     CA3`Ee+rD  
                                                                 @5\/L6SRfL  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _Kv;hR>  
    1Ba.'~:  
     2$O6%0  
     
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