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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 _9q byhS7  
    W }v ,6Oe  
    ,<Wt8'e  
                                                             :jC$$oC].  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 lCTXl5J5  
                                                                 gtT&97tT<  
    建模任务                                                         o-JB,^TE  
    a <Iikx  
      J%T=FU  
    e)m6xiZ  
    光栅元件   #2"'tHf4  
    V]m}xZ'?^  
                                                             p.b#RY  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: P1Eg%Y6  
    • FMM/RCWA Q2:r WE{K!  
    • Diffractive Lens Component  $&1Dl  
                                                                 J3e'?3w[  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       <0? r# }  
    '-Oh$hqCx|  
                                                         ?%#no{9  
    K\zb+  
    正弦光栅-传输相位形态     k8@bQ"#b  
    AEDBr<  
                                                         Zg0nsNA   
    `^ a:1^  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         X*w;6 V  
    *YGj^+   
     Zsmv{p  
     Z'l!/l!  
    正弦光栅-衍射效率 7=Pj}x)  
    /-t!)_zvw  
                                                                 7I@df.rf6J  
    .o,-a>jL  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       adRIg:2  
    uI& 0/  
           lQ4^I^?m  
    :eT\XtxM~{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ^)a:D KL  
                                           R y(<6u0  
    Fy!s$!\C0  
                                                                 Sa0IRC<LV  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *5?Qam3  
    5|>ms)[RQ  
                                                               {'B(S/Z 7  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Om>?"=yDE  
    F 9d6#~  
    ~66v.`K!  
     FP7N^HVBG=  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         q?)5yukeF  
    M?Q\ Hw  
     >{-rl@^H:  
                                                                 e'c3.sQ|?  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Aq7`A^1t$  
    mwN "Cu4t  
     L{l}G,j<  
                                                                 mG\9Qkom|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         +JY8"a97>  
    W$&*i1<a+  
     -*hPEgcV9  
     
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