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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 f%<kcM2  
    Bvb.N$G  
    7.`Fe g.  
                                                             Js.2R$o =*  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 dI};l  
                                                                 tJ;<=.n  
    建模任务                                                         .SzP ig  
    ~PAF2  
     (e.?). e  
    c6VfFt6p  
    光栅元件   I&%{%*y  
    4>x]v!d  
                                                             Sc#B -4m  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: PT4Wox9U  
    • FMM/RCWA 2:3-mWE  
    • Diffractive Lens Component '#pY/,hVB  
                                                                 kV9S+ME  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       'RZ=A+%X  
    _$g6Mj]1z  
                                                         Jas=D  
    d nRbt{`jP  
    正弦光栅-传输相位形态     )lh48Ag0t;  
    bS7rG$n [  
                                                         .LMOmc=(  
    F<H[-k*t/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         wiHGTaR  
    {S[+hUl  
     ts|dk%  
    nIc:<w]  
    正弦光栅-衍射效率 3*INDD=  
    Zcst$Aro  
                                                                 tjLp;%6e  
    d^b(Uo=$  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       su:~X d  
    ]:H((rk  
           ^K[WFiN}  
    ye?4^@u u  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   dRC RB  
                                           FVY$A =G  
    H[oCI|k  
                                                                 ^<u9I5?  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) DpA"5RV  
    d6RO2^  
                                                               {p.D E  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         j<,Ho4v}_  
    I'sq0^  
    '?$N.lj$d  
     !W\Zq+^^J3  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         m 0jm$> :Z  
    Jr2x`^aNO  
     Lvco9 Ak  
                                                                 <d*;d3gm  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         TTGk"2 Q'  
    ui>0?O*G  
     *,x-}%X  
                                                                 KH=4A-e,0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         J]h$4"  
    +,8j]<wpo  
     c qWX*&2_  
     
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