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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 >!tfvM2X{  
    =e9<.{]S/  
    #MiO4zXgd  
                                                             ocp  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 : Cli8#  
                                                                 A6   
    建模任务                                                         mC?}:W M@  
    B[+b%a3  
     OqmW lN.?  
    2^:iU{  
    光栅元件   wu b7w#  
    TB84}  
                                                             7;] IlR6  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^BW8zu@=O  
    • FMM/RCWA #cb9g   
    • Diffractive Lens Component vu*9(t)EC  
                                                                 ")nKFs5  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       y$6EEp  
    lEb H4 g  
                                                         Rd5pLrr[0)  
    #'RfwldD9  
    正弦光栅-传输相位形态     lTtc#  
    aQzmobleep  
                                                         niYD[Ra\xP  
    !FB2\hiM  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         4! F$nmG)  
    /sPa$D  
     {>TAnb?n  
    u^x<xw6f  
    正弦光栅-衍射效率 1W}k>t8?h'  
    O(_f&a  
                                                                 mJH4M9WJ]  
    qQ,(O5$|  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Mt%Q5^  
    ,">CPl]  
           ^1aY,6I:  
      &._Mh  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   T?`Ha\go  
                                           .E{FD%U  
    v`:!$U* H=  
                                                                 pK/RkA1  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) vSH-hAk  
    n:H |=SF{  
                                                               n-<`Z NMU  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         RL/5 o"  
    [DTe  
    L[Wi[S6=)g  
     y\dx \  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ]2|KG3t  
    ]J/;Xp  
     4e?cW&  
                                                                 XZ3M~cD q  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         )]m4FC:  
    #ZHKq7  
     m}6>F0Kv  
                                                                 ZOx;]D"s  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         x$S~>H<a  
    K;TTGK  
     X [?E{[@Z  
     
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