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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 L \$zr,=C  
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    o^ 4+eE  
                                                        
    )-9/5Z0v  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Mf *qr9*  
                                                                 yF:fxdpw  
    建模任务                                                         &qr7yyY  
    OJ 2M_q)e  
    V$@2:@8mo  
    4 (yHD  
    光栅元件   ("aYjK k  
    #: F)A_Y  
                                                        
    a-W&/  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: #y?z2 !  
    • FMM/RCWA >8VJ!Kg4  
    • Diffractive Lens Component [`&cA#C9Yp  
                                                                 z/TRqD  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       BP7_o63/G  
    }X$>84s>[P  
                                                    
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    ovHbs^H%  
    正弦光栅-传输相位形态     U!Lws#\X  
    @.5Ybgn  
                                                    
    +,%x&L&I  
    HqbTJ!a  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         QW!'A`*x  
    V}(%2W5X+  
    >8,BC  
    ^8 z*f&g  
    正弦光栅-衍射效率 (/)JnBy0  
    &8(2U-  
                                                            
    u/MIB`@,  
    b/ynCf8X  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       rUyT5Vf  
    PvM<#zq_  
      
    ZpZ~[BtQ  
    X:dj5v  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   iD\joh-C  
                                      
    J@$>d  
    `w q\K8v  
                                                                 `R^)< v*  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =?}'\ >G "  
    WcdU fv(>  
                                                          
    0 cQf_o  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         o(a*Fk$  
    AXJC&O}`  
    YRwS{ e*u  
    3:C *'@  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         )I*V('R6|  
    %~eZrG.  
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                                                                 !is8`8F8  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         gh~C.>W}q+  
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                                                                 -?GYW81Q  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         \'p)kDf  
    Ar\`OhR  
    zRKg>GG`  
     
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