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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 6_" n  
    >WZ%Pv *  
    MF.!D;s  
                                                             pSC{0Y$g  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 TJRp/BP  
                                                                  ,d/$!Yf  
    建模任务                                                         xib}E[-l#  
    6!0NFP~b  
     j%3 $ytf|p  
    yx`@f8Kr  
    光栅元件   i#YDdz  
    [V_mF  
                                                             =>PX~/o  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: XOqHzft h6  
    • FMM/RCWA QE"$Lc)  
    • Diffractive Lens Component b/*QV0(  
                                                                 ,B;mG]_  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       @>U9CL"  
    o/,%rA4  
                                                         fXnTqKAfu6  
    jN{k }  
    正弦光栅-传输相位形态     8bMw.u=F  
    {=I,+[(  
                                                         !-qk1+<h  
    l]DRJ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         @Z$fEG)9  
    O<!^^7/h0  
     kKbbsB  
    !^L}LtqHI  
    正弦光栅-衍射效率 QP<P,Bi~  
    |U1u:=[  
                                                                 k(>J?\iNW  
    3<FqK\P  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       /Tl ybSC1  
     A|IPQ=  
           ,agkV)H  
    4ybOK~z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   05 6yhB  
                                           ]lJ#|zd8o  
    u (r T2  
                                                                 ~:!& }e5  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 9|>y[i  
    $?: -A  
                                                               #9"lL1  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +A,cdi9z  
    0_y&9Te  
    vA*NJ%&`  
     3s:)CXO  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         .*EP$pc  
    h*P0;V`UX  
     q{,yas7}  
                                                                 IMSm  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $3#oA.~R/  
    Jl"DMUy[kW  
     e!i.u'z  
                                                                 N9)ERW2`*  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         QIN# \  
    jAt6 5a  
     #lVSQZO~a  
     
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