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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 SN QLEe  
    ri9n.-xs  
    !C.{nOfyv  
                                                             e [F33%  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ryd}-_LL  
                                                                 =Y3d~~  
    建模任务                                                         Y(R],9h8  
    pAEJ=Te  
     {#{nU NW  
    .= 8Es#  
    光栅元件   h!hv{c  
    F<6{$YI  
                                                             )4+uM'2%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: l4^8$@;s  
    • FMM/RCWA 52 DSKL  
    • Diffractive Lens Component Hc q@7g  
                                                                 P6tJo{l8w  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       aUBu"P$J  
    %ZlnGr  
                                                         { lZ<'p  
    h/l?,7KHI  
    正弦光栅-传输相位形态     Y7yzM1?t  
    tkix@Q!;\  
                                                         -g vS 3`lX  
    l)0yv2[h  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         9l7 youZ]  
    Yr:$)ap  
     o\y qf:V8  
    rmnnV[@o  
    正弦光栅-衍射效率 X`daaG_l  
    [  **F  
                                                                 h6Hop mWVx  
    l_=kW!l  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -(.\> F  
    x\(yjNZH  
           7o M]qLF  
    :&D$Q 4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   AzBpQb*  
                                           S4X['0rX!  
    d e~3:  
                                                                 C;!h4l7L  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) rxIYgh  
    j: B,K.:  
                                                               l_*:StyR+  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         kC6s_k  
    C}mWX7<Z.  
    x1*@PiO,.  
     `r8bBzr@%  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         <b;Oap3  
    7llEB*dSA  
     W.U|mNJ$  
                                                                 !HHbd |B_  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         gIXc-=Ut  
    FUTDR-q O  
     g|l|)T.s  
                                                                 &($Zs'X  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         h!>NS ?X7  
    4&LoE~  
     lf9_!`DGV  
     
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