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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 bw5T2wYZ  
    zi.mq&,]R  
    In+^V([u+_  
                                                             WUY,. 8  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 bl$j%gI%,  
                                                                 dm& /K 4c  
    建模任务                                                         HU9p !I.  
    LD_M 3 P  
     I&\4C.\>  
    JhH`uA&  
    光栅元件   yzg9I  
    snq;:n!   
                                                             )cKjiXn  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *m&%vj.Kc  
    • FMM/RCWA 63C(Tp"  
    • Diffractive Lens Component 0 Az/fzJlz  
                                                                 gmDR{loX  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       H`gb}?9R  
    x=vK EyS@  
                                                         ^vW$XRnt  
    N6q5`Ry  
    正弦光栅-传输相位形态     j/' g$  
    KC]tY9 FK  
                                                         gi1j/j7  
    )ji@k(x27q  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         B/G3T u uG  
    \OA L Or  
     <r3Jf}%tT  
    dE GX3 -  
    正弦光栅-衍射效率 +N8aq<l  
    ftaBilkjp  
                                                                 IX.sy  
    )$h-ZYc  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       MX?}?"y  
    pl?kS8#U?  
           Bz:&f46{  
    #// %&k  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   iJ4 <f->t  
                                           lz}llLb1  
    w?S8@|MK  
                                                                 z'*ml ?  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 4]EvT=Ro  
    )WmZP3$^TX  
                                                               .aJ%am/:%  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         o6|"J%9GX  
    m#;.yR  
    oSmjs  
     :l;,m}#@  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         K.%z;( U  
    ?Nu#]u-  
     i(P>Y2s  
                                                                 Lrlk*   
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         =EWD |<  
    cCk1'D|X[e  
     I:HV6_/^-G  
                                                                 G>JxIrN0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;AltNGcM  
    F'XlJ M  
     nSS}%&a:LX  
     
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