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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 -|'@ :cIZ  
    GpPM?  
    ~xG/yPl  
                                                             ;8#6da,  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 t5 >ma:^j  
                                                                 6c+29@  
    建模任务                                                         1a9' *[  
    ,%Z&*/*Oh  
     ;ZB=@@l(  
    48,*sTRq  
    光栅元件   G739Ne[gL  
    :[l}Bb,  
                                                             "`K_5"F  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: eLT3b6'"?  
    • FMM/RCWA 12i`82>;  
    • Diffractive Lens Component Q:) 4  
                                                                 T} \>8EEG  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       1]>JMh%X9t  
    h<3bv&oI .  
                                                         zecM|S_  
    "u^2!d  
    正弦光栅-传输相位形态     ;nh_L(  
    XSx!11  
                                                         3^Is4H_8  
    Kez0Bka  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s]yZ<uA  
    \>su97  
     !rgXB(  
    v$`3}<3-  
    正弦光栅-衍射效率 "LYhYkI  
    dw#pObH|`  
                                                                 "o%okN  
    >WO;q  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       tM@%EO  
    %dw0\:P?Q  
           mr[1F]G  
    {<IHiB35q  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   L?N: 4/0;!  
                                           bPV}T`  
    Dg^s$2  
                                                                 zKk=R6w  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)  Dt5AG  
    1_&W1o  
                                                               0dx%b677d  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         WjVm{7?{  
    Ku6ndc  
    O 8l`1  
     y2g)*T!m  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         1OY 5tq  
    !*^+7M  
     aa]|  
                                                                 MG&vduu  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Aa-OMo;~  
    ! j6CvclT  
     Y}}1]}VIK  
                                                                 |p/[sD+M  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         q%s<y+  
    DbI)tDi5D  
     JWM4S4yZHR  
     
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