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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 l$YC/ bP  
    (?H0+zws^  
    PC qZNBN  
                                                             jr)7kP@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 [y0O{,lI  
                                                                 ~l$3uN[g  
    建模任务                                                         wP57Pf0  
    -kS~xVS|  
     7y`}PMn  
    E( h<$w8s  
    光栅元件   ZlHDi!T  
    1pCieTz!PN  
                                                             1lsLJ4P  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^0#; YOk  
    • FMM/RCWA fS:1^A2,  
    • Diffractive Lens Component ex<O]kPFE  
                                                                 ~Aq5X I%i  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       k6kM'e3V  
    jt@SZI`  
                                                         [|~2X>  
    @ a4/ELx  
    正弦光栅-传输相位形态     #XnPsU<J  
    N-g8}03  
                                                         l_j4DQBRV  
    X]loJoM9  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5*\\J&H  
    &vovA} F  
     /cK%n4l.y  
    P"lBB8\eku  
    正弦光栅-衍射效率 yIb,,!y9{  
    cV-1?h63  
                                                                 hfcIvs/!  
    `p'Q7m2y/b  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       1shBY@mlq  
    Uu7dSU  
           __@zTSVb  
    eh*6cQ.0  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _al|'obomy  
                                           ICB~_O5  
    0GDvwy D1  
                                                                 $DBGLmw  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) +uWYK9  
    ?4CNkk=v  
                                                               WS2os Bc  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Og%U  
    =N);v\ Q$!  
    `d2,*KR  
     f&4,?E;6%  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         zciCcrJ  
    %~NH0oFO  
     J wmT /  
                                                                 (!5LW '3B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $XBAZ<"hd  
    7{oe ->r  
     E^hHH?w+  
                                                                 6+K_Z\  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         r$wZt  
    Ovw[b2ii  
     @OV-KT[>  
     
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