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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 _iGU|$a  
    LGo2^Xx  
    \U!@OX.R'M  
                                                             P('t6MVl T  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 (lN;xT`=  
                                                                 %R5Com  
    建模任务                                                         9'n))%CZ.  
    lHcZi  
     .lvI8Jf~X  
    [Y22Wi  
    光栅元件   \7,MZt  
    /i{tS`[F2a  
                                                             [arTx ^  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: BEXQTM3])I  
    • FMM/RCWA F<yy>Wf  
    • Diffractive Lens Component VelB-vy&  
                                                                 msc 1^2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       C{UF~  
    0~+NB-L}  
                                                         b8N[."~:  
    (!ZQ  
    正弦光栅-传输相位形态     <AI>8j6#B  
    t{R5 EU  
                                                         !Tn0M;  
    (]3ERPn#y  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         HQ^9 [HN.  
    QFW0KD`5  
     L289'Gzg  
    01LZE,.  
    正弦光栅-衍射效率 RDs,sj/Y9?  
    Kajkw>z  
                                                                 ZjU=~)O}H  
    X,RT<GNNb  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [ 8F \;  
    6P;o 6s  
           W\it+/  
    2#z=z d  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   t a&Q4v&-  
                                           9?uqQ  
    ==]Z \jk  
                                                                 'FShNY5  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) H<`^w)?  
    |}_gA  
                                                               YF}9k  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         a(8>n Z,V  
    C _8j:Z&  
    .Qd}.EG  
     7{n\y l?  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         luW <V>  
    ("_Q  
     3YR* ^  
                                                                 A)8rk_92Q  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         n}19?K]g  
    Dba+z-3Nzy  
     za,6 du6  
                                                                 B ,V( LTE  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         c  Qld$  
    k_]\(myq  
     F?7u~b|@{  
     
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