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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 -+MGs]),  
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    }xhat,9  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 S%+,:kq  
                                                                 a(Q4*XH4  
    建模任务                                                         ybnq;0}$  
    { a2Y7\C/  
    T'YHV}b}vX  
    .gY}}Q  
    光栅元件   vn oI.;H,  
    :(IP rQ  
                                                        
    )gM3,gSS  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: r=57,P(:Ca  
    • FMM/RCWA fpMnA  
    • Diffractive Lens Component W5'07N^  
                                                                 O5}/OH|j  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Hgu:*iYA  
    -^A=U7  
                                                    
     3Ee8_(E\  
    /rMxl(wD'  
    正弦光栅-传输相位形态     \=n0@1Q=>  
    /WIO@c  
                                                    
    2 uuI_9 "^  
    oL?[9aww  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         PT2b^PP  
    kk`BwRh)d;  
    1-z*'Ghys  
    t<`h(RczHI  
    正弦光栅-衍射效率 aFkxR\x 6%  
    -I, _{3.S  
                                                            
    9`[#4'1Mik  
    }h+_kRQ  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       eFO+@  
    TF\<`}akX  
      
    i&cH  
    >z=_V|^$  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   `i{k^Q  
                                      
    d<*4)MRN  
    m~K[+P  
                                                                 {d|R67~V  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) doR'E=Z4h  
    Salu[)+?  
                                                          
    ^RN1?dXA  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         vBUl6EmWu  
    1[k~*QS  
    WIwbf|\  
    >M` swEj  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         \L#BAB6z  
    o]NL_SM_  
    #=WDJ T:  
                                                                 f;/t7=>d  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Z=: oIAe  
    Pn{yk`6E  
    lYd#pNN  
                                                                 ^q"wd?((h  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         $s2-O!P?  
    l+'1>T.I  
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