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摘要 -+MGs]), _
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:sO^b*e / }xhat,9 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 S%+,:kq a (Q4*XH4 建模任务 ybnq;0}$ { a2Y7\C/
T'YHV}b}vX .gY}}Q 光栅元件 vn
oI.;H, : (IPrQ
)gM3,gSS 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: r=57,P(:Ca • FMM/RCWA fpMnA • Diffractive Lens Component W5'07N^ O5}/OH|j 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) Hgu:*iYA -^A=U7
3Ee8_(E\ /rMxl(wD' 正弦光栅-传输相位形态 \=n0@1Q=> /WIO@c
2 uuI_9 "^ oL?[9aww 正弦光栅-传输相位形态 PT2b^PP kk`BwRh)d;
1-z*'Ghys t<`h(RczHI 正弦光栅-衍射效率 aFkxR\x
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9`[#4'1Mik }h+_kRQ 正弦光栅-效率vs. 周期 eFO+@
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i&cH >z=_V|^$ 正弦光栅—选定周期的相位形态 `i{k^Q d<*4)MRN m~K[+P {d|R67~V 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) doR'E=Z4h Salu[)+?
^RN1?dXA 闪耀光栅-传输相位形态 vBUl6EmWu 1[k~*QS WIwbf |\ >M` swEj 闪耀光栅-衍射效率 \L#BAB6z o]NL_SM_
#=WDJT: f;/t7=>d 闪耀光栅-效率vs.周期 Z=: oIAe Pn{yk`6E
lYd#pNN ^q"wd?((h 闪耀光栅-选定周期相位形态 $s2-O!P? l+'1>T.I
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