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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Ht&:-F+dm  
    Y07ZB'K  
    }x07^4$j  
                                                             1$p2}Bf {n  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 RT.D"WvT  
                                                                 =AEBeiz  
    建模任务                                                         MP4z-4Y  
    G}ob<`o|"  
     Fd[zDz  
    E: $P=%b  
    光栅元件   mjKS{  
    3%%o?8ES  
                                                             Jc|6&  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: U qFv}VsnF  
    • FMM/RCWA H?)w!QX  
    • Diffractive Lens Component br":y>=,  
                                                                 W8KDX_vGJ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       )~HUo9K9  
    ,I%g|'2  
                                                         rjp-Fw~1w  
    3v5%y '  
    正弦光栅-传输相位形态     l%1!a  
    er!DYv  
                                                         >VN5`Zlw\C  
    !>zo _fP  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         WYEKf9}  
    #]ypHVE  
     \<y#R~7s  
    \ytJ=0r  
    正弦光栅-衍射效率 @jsDq Ln  
    .`4{9?bR  
                                                                 zhpt%7So  
    y*tZ !m2Gg  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       CkdP#}f  
    o'f?YZ$.  
           vA]W|sLF9  
    dVi!Q@y+  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ~==>pj  
                                           BE_ay-  
    .2v_H5<  
                                                                 O]1y0BOQ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) !,Va(E|=  
    OG~6L4"  
                                                               SVB\  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &'}RrW-s  
    s1h/}  
    PSZL2iGj9V  
     yl1gx  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         or';A'k  
    H=Y{rq@  
     7w/4QiI  
                                                                 bS"fkf9  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Ire\i7MF:  
    Xt@Z}B))pu  
     7[5.> h  
                                                                 O^^C;U@U<1  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         -U/c\-~fU  
    fH >NJK;  
     -Ty*aov  
     
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