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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 !IB}&m  
    l4(FM}0X5}  
    N93R(x)%  
                                                             e=eip?p  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 DyA /!%g  
                                                                 x25zk4-  
    建模任务                                                         *[BtW5 6-  
    h@\HPYi#.  
      Y(2Z<d  
    xU}J6 Tv  
    光栅元件   7zJ2n/`m*  
    +dRRMyxe4  
                                                             bZK^q B  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: !c-MC|  
    • FMM/RCWA 81!;Wt(?  
    • Diffractive Lens Component Q&_#R(3j;  
                                                                 AZA5>Y  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       l~Ka(*[!U  
    inZ0iU9dy  
                                                         \pTv;(  
    64`l?F  
    正弦光栅-传输相位形态     yLK %lP  
    YnW9uy5  
                                                         "a33m:]J  
    [McqwU/Q  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5p5"3m;M7  
    ]gm3|-EiY  
     g)D@4RM  
    *M0O&"~j  
    正弦光栅-衍射效率 {?EmO+![}  
    ; C(5lD&\5  
                                                                 D%c^j9' 1  
    +>Gw)|oX  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       >K1e=SY  
    Z7[S698  
           w'VuC82SZ  
    UvB\kIH  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   >i.$s  
                                           dLwP7#r  
    ?i\V^3S n$  
                                                                 TBba3%  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ^P/OHuDL  
    rd$T6!I  
                                                               G\,B*$3   
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         d{@'&?tj  
    UX.rzYM&T  
    @\xEK5SG  
     8x7TK2r  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         f~TkU\Rh  
    :,R>e}lM  
     hE'7M;  
                                                                 oWi#?'  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         SkVah:cF-  
    Z?3B1o9  
     \yxGE+~P  
                                                                 ^^tTA^  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         nGc'xQy0  
    ^T1caVb|>  
     nmE H/a  
     
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