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摘要 6`e{l+c=F @A,8>0+
d/d)MoaJ*t 0*{(R# 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 !l[;,l k|;a"56F 建模任务 io#}z4"'qY /oPW0of
7H Har'=T Sdq}?- &Sa 光栅元件
3ahriZe khy'Y&\F;
Cut~k"lv 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: u zZ|0 • FMM/RCWA Nv5^2^Sc= • Diffractive Lens Component D \ rns+ x{R440" 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ]Uv,}W !#0)`4O
:;%Jm PxKBcx4o` 正弦光栅-传输相位形态 Rpn<"LIoB: R~g|w4a@sC
J9T2 p\5 $?GggP d 正弦光栅-传输相位形态 iYXD }l;r B}"R@;N
>G`p T# lNe4e6 正弦光栅-衍射效率 LLx0X
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5IU!BQU !9d7wPUFr 正弦光栅-效率vs. 周期 ZF7@ b/-me TEV DES
4%0s p 7
A0?tG 正弦光栅—选定周期的相位形态 0,hs%x>v ?N{\qF1Mz >iTmILA ;.h /D4 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) J jAxNviG ~n
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4?pb!@l 闪耀光栅-传输相位形态 1H-Wk t24`*' {a[BhK'g ILuQ.VhBVN 闪耀光栅-衍射效率 0AM_D >fH h8V*$
J6#h~fp v S?v/diK ]J 闪耀光栅-效率vs.周期 9a_P 9s3w SQ)BS/8A
SK}jhm"y Luao?;|U 闪耀光栅-选定周期相位形态 A"*=K;u/|m Z}O]pm>=G
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