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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 dH+oV`  
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    $ v~I n  
                                                        
    { GKqOu  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 8\9s,W:5  
                                                                 5 $:  q  
    建模任务                                                         {aYCrk1  
    O>Ao#_*hOb  
    XZ1WY(  
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    光栅元件   YfUUbV  
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    K0z@gWGE  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <|c[ #f  
    • FMM/RCWA [cvtF(,  
    • Diffractive Lens Component D?@e,e  
                                                                 OE_>Kw7q  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       >TQnCG =  
    ,]8$QFf  
                                                    
    E@D}Sqt  
    .80L>0  
    正弦光栅-传输相位形态     h;Se.{  
    H/BU2sa  
                                                    
    4Q5 c'  
    O*y@4AR"S  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         DTp|he  
    EE[JXoke  
    /6d:l>4  
    3m59EI-p  
    正弦光栅-衍射效率 iJem9XXb  
    1)N{!w`  
                                                            
    {ZrB,yK  
    HE>sZ;  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !>gu#Q{\-  
    84UI)nE:Q  
      
    eE-c40Bae  
    4.}J'3 .  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   v|K<3@J  
                                      
    s^Wh!:>r/  
    @N,I}_9-  
                                                                 a<ztA:xt|1  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 7n*[r*$  
    7d"gRM;  
                                                          
    +/Q ?<*[  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         L fx$M  
    GO=3<Q{;  
    d:1TSJff%/  
    _;yi/)-2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         dLIZ)16&  
    + ZxG<1&  
    {9yW8&m  
                                                                 :KL5A1{  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         f0,,<ib.w  
    >7^i>si  
    Bm&%N?9  
                                                                 Lp}>WCams  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         g4fe(.?c,  
    iQnIk| 8  
    XexslzI  
     
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