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摘要 Y^dVNC3vd k&nhF9Y4
uo1G qa ![oMKc 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 ]{9oB-;, 0/.#V*KM 建模任务 }9C5U>? [7Nn%eZC
39!o!_g ~L(_q] 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ *$(=I6b ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 UT[9ERS ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 TJtW?c7 LvpHR#K)F5 示例 {nQ}t
}B _ED1".f |-7<?aw" X7kJWX 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 IidZ-Il ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 \h^bOxh ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 a@@!Eg
A ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 ;U<)$5 tC+9W1o 关于z轴旋转的图示 .Jdw: MW9B
-x ^&uWAQohL yZ:|wxVY 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 -b@E@uAX/ 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 :Puv8[1i >Z^7=5K"O 指向(关于z轴旋转):0° 'OGOT0(
~4}m'#!
(Cp:NS ZNB*Azi 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 *DkA$Eu3u F dv&kK! 指向(关于z轴旋转): 30° c7\bA7. NQfIY`lt' HXU"]s2Z +bm2vIh$ 注意:方向角度的定义为: y<F$@ ─ 关于界面坐标轴。 MbnV5 b:X ─ 逆时针方向。 ;_j\E(^% gb(\c:yg1R 指向(关于z轴旋转): -90° mC~W/KReA F__>`Dol
Cu;X{F'H ! #
tRl 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 z,rWj][P tzpGKhrk6 关于y轴旋转180°示例 O8u"Y0$*w Tf@t.4\
=< CH( 4! ?5mVC]W?] 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 EZP2Bb5g Q X@&~ 关于y轴旋转180°(未选中) GWE`'V BpP\C!:^
e^'?:j f| N(~ 注意: bT{P1nUu 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 6\o.wq 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: @oRYQ|.R ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 U}A+jJ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 WgPL4D9= n;rOH[P 关于y轴旋转180(选中) _ux6SIyp` ]Vwky]d
q=nMZVVlF( +}+hTY$a 注意: g"Ii'JZ? 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. *R~oA` "\_}"0H 例1和例2的附加信息 oub4/0tN,~ Y" l!3^
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