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摘要 7_A(1Lx/l7 ab
2V.S
h~<#1'/< {%~Sbcq4F 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 l1YyZ ^Z mB_ba1r 建模任务 ]>x674H k%c ?$n"
`SOaQ|H
ZP?](RV>xg 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ eeuAo&L& ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 (A"oMnjWd ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 _Z 9I') N[=nh)m7b 示例 )v'3pTs2 [_b10Z'{ g[!sGa& Xa%Z0%{ 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 R'&^)_ ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 i"U3wt|A ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 r`6XF ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 '0?5K0
2( NW^}u~-f 关于z轴旋转的图示 W5sVQ`S- w)3LY F l*pCG`@J# 2R.YHj 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 b/WVWDyob/ 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
{T.$xiR VSM%<-iQ 指向(关于z轴旋转):0° \5X34'7 I]TL#ywF
E&]S No< zoO>N'b3) 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 Fa@#nY|UV3 gl00$}C 指向(关于z轴旋转): 30° Ho*S>Y Qb9) 1 OB5(4TY +U@P+; 注意:方向角度的定义为: g5/8u2d ─ 关于界面坐标轴。 |0m h*+i ─ 逆时针方向。 {hVSVx8ZL W._vikR 指向(关于z轴旋转): -90° dqPJ 2j $\ us$~6
Tf*X\{" 8={(Vf6 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 F;`es%8 Sd}fse 关于y轴旋转180°示例 -O. MfI+ hg=\L5R
U{{RRK| (#7pGGp*E 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 pcm| CuU"s) 关于y轴旋转180°(未选中) hF!yp7l; 0+M1,?+GfF
W:hR81ci S\GG(#b! 注意: \fh.D/@ 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 S ^2'O7uj 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
PDM>6U ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 ;/>~|@ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 Z
A7u66 ,tmo6D6 2 关于y轴旋转180(选中) EtN"K-X Za4 YD
! X*L<)=nh In:h %4> 注意: eBtkTWx5[/ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. .r[J} O" {I`B?6K5 例1和例2的附加信息 [,xFk* # 2 R 1S>X
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