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摘要 E~'QC 4: S-
&l2C-( 88 M$mjx 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 s.KHm
L3 tU, >EbwO 建模任务 jY ~7- br_D
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o~={M7m 8^av&u$ 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ Q:sw*7"F ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 3ew`e"s ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 Tq`rc"&7u */E5<DO 示例 Uh8c!CA8:\ E6mwvrm8 j5]6CG_ :igURr 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 zd^QG ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 L[cl$pYV ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 CJ#1j> ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 Ph|\%P`>% YQ#o3sjs 关于z轴旋转的图示 R3ru<u>k& Zh,{e/j \oc* C
lekB 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 Fi_JF; 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 j1U,X *mTx0sQz(J 指向(关于z轴旋转):0° si.w1 t/L:Y=7w
f*&4d
^YwTO/Q| 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 /1R` E9 K84VeAe 指向(关于z轴旋转): 30° n#lZRwhq m C&*K u AmDXqJ3 tj=l! 注意:方向角度的定义为: v"N%w1`.e ─ 关于界面坐标轴。 ,z+7rl ─ 逆时针方向。 380M&Guh eJ
O+MurO 指向(关于z轴旋转): -90° N% W298 c1L0#L/F6"
eod-N}o qH1&tW$ 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 7C"&f *lEi pwG" _|h 关于y轴旋转180°示例 ^B`*4 Mp`2[S@$
(viGL|Ogn @K:TGo,%I 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 C}>Pn{wY9 4itadQS 关于y轴旋转180°(未选中) y-i6StJ fce~a\y0
O${B)C, +#a_Y 注意: o+j~~P 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 TCI%Ox|a 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: PBo;lg` ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 #2qDn^s ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 7g&"clRGO 0l&#%wmJ, 关于y轴旋转180(选中) r{pbUk v@^P4cu;
-{ M(1vV(= O h{>xg 注意: 1U(P0$C 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. $63_*9 Pv3rDQ/Yt| 例1和例2的附加信息 +i0j3. d=v{3*a_4,
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