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摘要 GH
xp7H yppo6HGD 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 -%dCw6aX+ p<;0g9,1 0?M:6zf_iv 1. 建模任务 QdC<Sk!G RFH0 2. 干涉条纹的变化 *9i{,I@ t0I{q0 \|ao`MMaD< 3. VirtualLab Fusion概览 KY N0 yOKI*.} &VcV$8k 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 lNBL4yM 设置输入场 Y4( - Basic Source Models [教程视频] -`t^7pr 定义组件的位置和方向 [fIg{Q - Basic Source Models [教程视频] 'P}0FktP` 正确设置通道以进行非顺序跟踪 m#F`] { - Basic Source Models [使用案例] 3D(0=$W 使用参数运行检查影响/变化 {}Za_(Y,] - Usage of the Parameter Run Document [用例] YnP5i#" A +)`ZTuO
YgoBHE0# 188*XCtjQ9 5. VirtualLab Fusion 技术 Xs?o{]Fe u~-8d;+?y
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