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摘要 L,6MF,vx (p^S~Ax 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 A3j"/eKi2 f0OgK<.>T 3<+z46`? 1. 建模任务 c+H)ed> (VEp~BW@-R 2. 干涉条纹的变化 ,?I(/jI ZxI]I1) Gj)uyjct 3. VirtualLab Fusion概览 \PzN XQ$ sSNCosb ghX:"vV{n 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 .3( ;9}; 设置输入场 l`* ( f9Q - Basic Source Models [教程视频] \d:h$ 定义组件的位置和方向 @FU~1u3d - Basic Source Models [教程视频] A4}#U=3tI 正确设置通道以进行非顺序跟踪 0juDuE? - Basic Source Models [使用案例] K0LbZMn,/ 使用参数运行检查影响/变化 i]dz}= j' - Usage of the Parameter Run Document [用例] 'P,,<nkr| }{A?PHV5
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S 5. VirtualLab Fusion 技术 &lU Ny
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