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摘要 _$x *CP0( ? 7dDQI7^( 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 N1+]3kt ~ )7TTRL #_5+kBA+>' 1. 建模任务 SQRz8,sqkw +DDvM;31w 2. 干涉条纹的变化 +1A<kJ @uWD>(D p_N=V. w 3. VirtualLab Fusion概览 0
N^V&k X> KsbOZ e6/} M3B 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 CF4y$aC# 设置输入场 b?^<';,5 - Basic Source Models [教程视频] 4df1)<}U- 定义组件的位置和方向 8BdeqgU/_ - Basic Source Models [教程视频] DA\O,^49h 正确设置通道以进行非顺序跟踪 Fs~-exY1 - Basic Source Models [使用案例] >.A:6 使用参数运行检查影响/变化 d":{a6D*d - Usage of the Parameter Run Document [用例] ^u<+tV
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~-zC8._w3r ZaV@}=Rd8 5. VirtualLab Fusion 技术 G 3x1w/L @5ybBh]
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