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摘要 %$Py @g +}?%w|8||s 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ?6&G:Uz/ J(/J;PW YLA(hg| 1. 建模任务 F*Hovxez @%L 2. 干涉条纹的变化 *aWh]x9TlU MnF|'t p"~@q} 3 3. VirtualLab Fusion概览 /<$|tp\Rc 4~$U#$u_ O{\<Izm`D 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Hf_
pe 设置输入场 t g-(e=S4P - Basic Source Models [教程视频] <bg6k . s 定义组件的位置和方向 Ank_;jo - Basic Source Models [教程视频] Vn{;8hZ:a 正确设置通道以进行非顺序跟踪 q5EkAh<PD| - Basic Source Models [使用案例] LK*9`dzv=G 使用参数运行检查影响/变化 ^b|? ?9& - Usage of the Parameter Run Document [用例] 8,RqhT)2# BCz4
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Hmhsb2`\ piIz ff 5. VirtualLab Fusion 技术 nXb_\9E w ~crj$UM
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