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摘要 1NN#-U 0w2<2grQ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 '2p,0Bk9i (
~>-6Nb 5 cGg~+R2P 1. 建模任务 )h%tEY$AJ QcdAg%"yy 2. 干涉条纹的变化 9PR?'X;4 @# p{,L PC?XE8o 3. VirtualLab Fusion概览 g`=Z%{z% @Rqn&tA8 sdQ"[`~2R 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 I^``x+a 设置输入场 ge&!GO - Basic Source Models [教程视频] UtB~joaR 定义组件的位置和方向 EBUCG"e - Basic Source Models [教程视频] YipL_&- 正确设置通道以进行非顺序跟踪 NF*Z<$ '% - Basic Source Models [使用案例] Lnltt86 使用参数运行检查影响/变化 baR*4{] - Usage of the Parameter Run Document [用例] AHP;N6Y6 H|d"45J_
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Y $)jf 5. VirtualLab Fusion 技术 0ol*!@? mw${3j~&
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